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1. (WO2002014584) DISPOSITIF DE LEVAGE MOTORISE POUR CHAMBRE DE DEPOT ELECTROCHIMIQUE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2002/014584    N° de la demande internationale :    PCT/US2001/041641
Date de publication : 21.02.2002 Date de dépôt international : 08.08.2001
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    11.03.2002    
CIB :
C25D 17/00 (2006.01)
Déposants : APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; P.O. Box 450A, Santa Clara, CA 95052 (US)
Inventeurs : FRANKLIN, Timothy, J.; (US)
Mandataire : BERNADICOU, Michael, A.; Blakely, Sokoloff, Taylor & Zafman LLP, 12400 Wilshire Boulevard, 7th floor, Los Angeles, CA 90025 (US)
Données relatives à la priorité :
09/636,449 11.08.2000 US
Titre (EN) POWERED LIFT FOR ELECTROCHEMICAL PROCESS CHAMBER
(FR) DISPOSITIF DE LEVAGE MOTORISE POUR CHAMBRE DE DEPOT ELECTROCHIMIQUE
Abrégé : front page image
(EN)An electrochemical deposition system comprising a fixture adapted to selectively grasp and release an electrochemical process cell is provided. The system may include a lift/lower mechanism coupled to the fixture and adapted to automatically stop lowering the firxture at a process cell elevation, a rotation mechanism coupled to the fixture when aligned with a process cell location and when aligned with a process cell exchange location. The fixture adapted to selectively grasp and release an object to be lifted may include a cam/follower coupling between a rotatable portion of the fixture and a gripping portion of the fixture. To grasp a process cell with the fixture the rotating portion of the fixture may be rotated so as to retract the gripping portion of the fixture causing the gripping portion to close around the process cell.
(FR)L'invention concerne un système de dépôt électrochimique qui comprend un dispositif de préhension conçu pour saisir et relâcher sélectivement une cellule de traitement électrochimique. Ce système peut comporter un mécanisme de levage/abaissement, couplé au dispositif de préhension et conçu pour stopper automatiquement l'abaissement du dispositif de préhension à une hauteur de la cellule de traitement, et un mécanisme de rotation, couplé au dispositif de préhension et conçu pour stopper automatiquement la rotation du dispositif de préhension lorsque celui-ci est aligné sur un emplacement de la cellule de traitement et lorsqu'il est aligné sur un emplacement d'échange de la cellule de traitement. Le dispositif de préhension conçu pour saisir et relâcher sélectivement un objet à lever peut comporter un accouplement came/suiveur entre une partie rotative du dispositif de préhension et une partie de préhension du dispositif de préhension. Pour que le dispositif de préhension puisse saisir une cellule de traitement, la partie rotative du dispositif de préhension peut pivoter de sorte que la partie de préhension du dispositif de préhension se rétracte et se referme autour de la cellule de traitement.
États désignés : CN, JP, KR, SG.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, TR).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)