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1. (WO2002013237) PROCEDE ET APPAREIL DESTINES A UN PORTE-PLAQUETTES POURVU D'UNE GARNITURE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication : WO/2002/013237 N° de la demande internationale : PCT/US2001/021767
Date de publication : 14.02.2002 Date de dépôt international : 10.07.2001
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 : 08.01.2002
CIB :
B24B 37/04 (2006.01) ,H01L 21/687 (2006.01)
B TECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
24
MEULAGE; POLISSAGE
B
MACHINES, DISPOSITIFS OU PROCÉDÉS POUR MEULER OU POUR POLIR; DRESSAGE OU REMISE EN ÉTAT DES SURFACES ABRASIVES; ALIMENTATION DES MACHINES EN MATÉRIAUX DE MEULAGE, DE POLISSAGE OU DE RODAGE
37
Machines ou dispositifs de rodage; Accessoires
04
conçus pour travailler les surfaces planes
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
L
DISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21
Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
67
Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
683
pour le maintien ou la préhension
687
en utilisant des moyens mécaniques, p.ex. mandrins, pièces de serrage, pinces
Déposants : MEMC ELECTRONIC MATERIALS, INC.[US/US]; P.O. Box 8 501 Pearl Drive St. Peters, MO 63376, US
Inventeurs : ZHANG, Guoqiang, D.; US
XIN, Yun-Biao; US
ERK, Henry, F.; US
Mandataire : MUNSELL, Michael, G. ; One Metropolitan Square Suite 1600 St. Louis, MO 63102, US
Données relatives à la priorité :
09/633,95808.08.2000US
Titre (EN) METHOD AND APPARATUS FOR A WAFER CARRIER HAVING AN INSERT
(FR) PROCEDE ET APPAREIL DESTINES A UN PORTE-PLAQUETTES POURVU D'UNE GARNITURE
Abrégé :
(EN) A method for repairing a wafer carrier after plural processing operations during which the carrier holds a plurality of semiconductor wafers in a processing apparatus which removes wafer material by at least one of abrading and chemical reaction. The wafer carrier has holes for receiving respective ones of the wafers and removable annular inserts for each hole. Each insert is receivable in a respective one of the holes for engaging a peripheral edge of one of the wafers. The thickness of the insert is reduced during the successive processing operations. The method includes removing at least one of the inserts from the wafer carrier and installing at least one new insert in the wafer carrier having a thickness substantially greater than a minimum thickness to extend the useful life of the wafer carrier and to improve the flatness and parallelism of surfaces of wafers processed using the wafer carrier.
(FR) L'invention concerne un procédé de réparation d'un porte-plaquettes à la suite de plusieurs opérations de traitement pendant lesquelles celui-ci soutient plusieurs plaquettes semi-conductrices dans un appareil de traitement éliminant du matériau de la plaquette par au moins une abrasion ou une réaction chimique. Le porte-plaquettes présente des trous destinés à recevoir d'une part des plaquettes et d'autre part des garnitures annulaires amovibles pour chaque trou. Chaque garniture peut être reçue dans un trou respectif de manière à venir en contact avec un bord périphérique d'une des plaquettes. L'épaisseur de la garniture est réduite pendant les opérations successives de traitement. Le procédé consiste à éliminer au moins une des garnitures du porte-plaquettes et à disposer au moins une nouvelle garniture dans le porte-plaquettes dont l'épaisseur est sensiblement supérieure à une épaisseur minimum, de manière à prolonger la vie utile du porte-plaquettes et à améliorer la planéité et le parallélisme des faces des plaquettes traitées au moyen du porte-plaquettes.
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États désignés : CN, JP, KR, SG
Office européen des brevets (OEB (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, TR)
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)