WIPO logo
Mobile | Deutsch | English | Español | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Recherche dans les collections de brevets nationales et internationales
World Intellectual Property Organization
Recherche
 
Options de navigation
 
Traduction
 
Options
 
Quoi de neuf
 
Connexion
 
Aide
 
Traduction automatique
1. (WO2002007192) ENSEMBLE SONDE TRIAXIAL
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2002/007192    N° de la demande internationale :    PCT/US2001/022011
Date de publication : 24.01.2002 Date de dépôt international : 12.07.2001
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    01.02.2002    
CIB :
G01R 1/18 (2006.01), G01R 31/28 (2006.01)
Déposants : THE MICROMANIPULATOR COMPANY, INC. [US/US]; 1555 Forrest Way Carson City, NV 89706 (US)
Inventeurs : HOLLMAN, Kenneth, F.; (US).
HARRISON, Daniel, L.; (US).
HANCOCK, Robert; (US).
SMITH, Daniel; (US)
Mandataire : SAMPLES, Kenneth, H.; Fitch, Even, Tabin & Flannery Suite 1600 120 South LaSalle Street Chicago, IL 60603 (US).
RANNEY, Kathleen A.; Fitch, Even, Tabin & Flannery Suite 1600 120 South LaSalle Street Chicago, IL 60093 (US)
Données relatives à la priorité :
09/615,454 13.07.2000 US
09/815,952 23.03.2001 US
Titre (EN) TRIAXIAL PROBE ASSEMBLY
(FR) ENSEMBLE SONDE TRIAXIAL
Abrégé : front page image
(EN)The invention relates to a probe assembly (100) for a wafer probe station having a probe holder and a replaceable probe tip (102). The probe holder is triaxially configured with a laterally extending center signal conductor (187), an intermediate guard conductor (134) extending along the length of the center conductor (187) and spaced radially therefrom by a tubular insulator member (186), and an outer shield member extending along a portion of the guard conductor (134) and spaced radially therefrom by a second tubular insulator member (136). A coaxially configured probe tip has a center conductor extending to a probe point (120) and a guard conductor (134) radially spaced from the center conductor (124) by an intermediate insulator (186). A releasable connection provides a rigid attachment between the probe tip (102) and the probe holder and provides electrical interfaces between the center and guard conductors thereof. The probe assembly (100) provides a replaceable probe tip solution having a rigid design and the ability to guard the center conductor along its length to a distance very near the probe point to provide enhanced performance in low current and low voltage measurement applications.
(FR)La présente invention concerne un ensemble de test pour un poste de testeur sous pointes présentant un porte-plaquette et une pointe de testeur remplaçable. Le porte-plaquette présente une configuration triaxiale avec un conducteur de signal central qui s'étend latéralement, un conducteur de garde intermédiaire qui s'étend le long du conducteur central et qui est séparé radialement de celui-ci par un élément tubulaire isolant, et un élément de blindage extérieur qui s'étend le long d'une partie du conducteur de garde et qui est séparée radialement de celui-ci par un second élément tubulaire isolant. Une pointe de testeur à configuration coaxiale présente un conducteur central qui s'étend jusqu'à un point du testeur et un conducteur de garde séparé radialement du conducteur central par un isolant intermédiaire. Une connexion amovible assure une fixation rigide entre la pointe du testeur et le porte-plaquette et fournit des interfaces électriques entre le conducteur central et le conducteur de garde. Par ailleurs, l'ensemble de test comporte une pointe de testeur remplaçable rigide et offre la possibilité de maintenir le conducteur central dans le sens de la longueur de celle-ci, très proche du point de testeur pour permettre une rendement amélioré dans des applications de mesure à faible courant et faible tension.
États désignés : JP.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, TR).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)