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1. (WO2002006902) PROCEDE ET SYSTEME POUR DISTRIBUER DE MANIERE AUTOMATIQUE UN FLUIDE UTILISE DANS DES PROCEDES DE LITHOGRAPHIE DE TYPE « IMPRINT »
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2002/006902    N° de la demande internationale :    PCT/US2001/022536
Date de publication : 24.01.2002 Date de dépôt international : 17.07.2001
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    15.02.2002    
CIB :
G03F 7/00 (2006.01), G03F 7/16 (2006.01)
Déposants : BOARD OF REGENTS, THE UNIVERSITY OF TEXAS SYSTEM [US/US]; 201 West 7th Street Austin, TX 78701 (US)
Inventeurs : CHOI, Byung, Jin; (US).
COLBURN, Matthew; (US).
SREENIVASAN, S., v.; (US).
BAILEY, Todd; (US).
WILLSON, C., Grant; (US).
ECKERDT, John; (US)
Mandataire : BROOKS, Kenneth, C; Molecular Imprints, Inc. Legal Department P.O. Box 81536 Austin TX 78708-1536 (US).
AXEL CASALONGA et al.; Bureau D.A. Casalonga-Josse Paul-Heyse-Stabe 33 D-80336 Munchen (DE)
Données relatives à la priorité :
60/218,754 17.07.2000 US
Titre (EN) METHOD AND SYSTEM OF AUTOMATIC FLUID DISPENSING FOR IMPRINT LITHOGRAPHY PROCESSES
(FR) PROCEDE ET SYSTEME POUR DISTRIBUER DE MANIERE AUTOMATIQUE UN FLUIDE UTILISE DANS DES PROCEDES DE LITHOGRAPHIE DE TYPE « IMPRINT »
Abrégé : front page image
(EN)Disclosed herein is an automatic fluid dispensing method and system for dispensing fluid on the surface of a plate-like material, or substrate, including a semiconductor wafer for imprint lithography processes. The dispensing method uses fluid dispenser and a substrate stage that may generate relative lateral motions between a fluid dispenser tip a substrate. Also described herein are methods and devices for creating a planar surface on a substrate using a substantially unpatterned planar template.
(FR)L'invention concerne un procédé et un système pour distribuer de manière automatique un fluide sur la surface d'un matériau de type plaque, ou un substrat, comprenant une plaquette de semiconducteur, pour des procédés de lithographie de type « imprint ». Ce procédé fait appel à un distributeur de fluide et à un étage de substrat pouvant produire des mouvements latéraux relatifs entre une extrémité du distributeur de fluide et un substrat. L'invention concerne également des procédés et des dispositifs pour créer une surface plane sur un substrat au moyen d'un gabarit plat pratiquement vierge.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NO, NZ, PL, PT, RO, RU, SD, SE, SG, SI, SK, SL, TJ, TM, TR, TT, TZ, UA, UG, UZ, VN, YU, ZA, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)