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1. (WO2002005310) APPAREIL A FAISCEAU DE PARTICULES COMPRENANT UNE SOURCE DE PARTICULES DEVANT FONCTIONNER SOUS ULTRAVIDE ET DISPOSITIF DE POMPE EN FORME DE CASCADE, DESTINE A UN TEL APPAREIL A FAISCEAU DE PARTICULES
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2002/005310    N° de la demande internationale :    PCT/EP2001/007597
Date de publication : 17.01.2002 Date de dépôt international : 03.07.2001
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    06.02.2002    
CIB :
F04D 19/04 (2006.01), F04D 25/00 (2006.01), H01J 37/18 (2006.01)
Déposants : LEO ELEKTRONENMIKROSKOPIE GMBH [DE/DE]; 73446 Oberkochen (DE) (Tous Sauf US).
GNAUCK, Peter [DE/DE]; (DE) (US Seulement).
DREXEL, Volker [DE/DE]; (DE) (US Seulement)
Inventeurs : GNAUCK, Peter; (DE).
DREXEL, Volker; (DE)
Mandataire : GNATZIG, Klaus; Carl Zeiss Patentabteilung 73446 Oberkochen (DE)
Données relatives à la priorité :
100 32 607.2 07.07.2000 DE
Titre (DE) TEILCHENSTRAHLGERÄT MIT EINER IM ULTRAHOCHVAKUUM ZU BETREIBENDEN TEILCHENQUELLE UND KASKADENFÖRMIGE PUMPANORDNUNG FÜR EIN SOLCHES TEILCHENSTRAHLGERÄT
(EN) PARTICLE RADIATION DEVICE COMPRISING A PARTICLE SOURCE THAT IS OPERATED IN AN ULTRAHIGH VACUUM AND A CASCADE PUMP ASSEMBLY FOR A PARTICLE RADIATION DEVICE OF THIS TYPE
(FR) APPAREIL A FAISCEAU DE PARTICULES COMPRENANT UNE SOURCE DE PARTICULES DEVANT FONCTIONNER SOUS ULTRAVIDE ET DISPOSITIF DE POMPE EN FORME DE CASCADE, DESTINE A UN TEL APPAREIL A FAISCEAU DE PARTICULES
Abrégé : front page image
(DE)Die vorliegende Erfindung betrifft ein Teilchenstrahlgerät mit einer im Ultrahochvakumm zu betreibenden Teilchenquelle und einer Präparatkammer, die mit variablen Drücken bis 1 hPa betreibbar ist. Das erfindungsgemäße Teilchenstrahlgerät hat zwischen dem Ultrahochvakuumbereich (6) und der Präparatkammer (1) genau zwei Zwischendruckbereiche (7, 8). Beide Zwischendruckbereiche (7, 8) werden mit Hilfe einer seriellen Pumpenanordnung aus einer Vorpumpe (16) und zwei Turbomolekularpumpen (13, 14) evakuiert, wobei eine der Tubomolekularpumpen (13) durch die Drag-Stufe (24) der anderen Turbomolekularpumpe (14) vorgepumpt ist. Bei einem Ausführungsbeispiel der Erfindung dient die Vorpumpe (16) gleichzeitig auch zum Evakuieren der Präparatkammer. Bei einem alternativen Ausführungsbeispiel ist eine zweite Vorpumpe (20) zum Evakuieren der Präparatkammer (1) vorgesehen. Mit dieser Anordnung ist das Ultrahochvakuum im Ultrahochvakuumbereich (6) bis zu Drücken von 100 hPa in der Präparatkammer (1) aufrecht erhaltbar. Das erfindungsgemäße Teilchenstrahlgerät findet insbesondere Anwendung als sogenanntes Variable Pressure SEM (VP-SEM) oder als sogenanntes ESEM.
(EN)The invention relates to a particle radiation device comprising a particle source that is operated in an ultrahigh vacuum and a preparation chamber which can be operated using variable pressures of up to 1 hPa. The inventive particle radiation device has two intermediate pressure areas (7, 8) located between the ultrahigh vacuum area (6) and the preparation chamber (1). The two intermediate pressure areas (7, 8) are purged by means of a pump assembly consisting of a fore-pump (16) and two turbomolecular pumps (13, 14) connected in series, whereby one of the turbomolecular pumps (13) is purged first by the drag phase (24) of the other turbomolecular pump (14). In one example of the invention, the fore-pump (16) is also simultaneously used for evacuating the preparation chamber. In an alternative example, a second fore-pump (20) is provided for evacuating the preparation chamber (1). This assembly allows the ultrahigh vacuum in the ultrahigh vacuum area (6) to be maintained up to pressures of 100 hPa in the preparation chamber (1). The inventive particle radiation device is used in particular as a variable pressure scanning electron microscope (VP-SEM) or as an environmental scanning electron microscope (ESEM).
(FR)La présente invention concerne un appareil à faisceau de particules comprenant une source de particules devant fonctionner sous ultravide et une chambre de préparation fonctionnant à des pressions variables allant jusqu'à 1 hPa. Cet appareil à faisceau de particules présente exactement deux zones de pression intermédiaire (7, 8) entre la zone d'ultravide (6) et la chambre de préparation (1). Ces deux zones de pression intermédiaire (7, 8) sont mises sous vide à l'aide d'un dispositif de pompe en série, qui est constitué d'une pompe primaire (16) et de deux pompes turbomoléculaires (13, 14). Une desdites deux pompes turbomoléculaires (13) est préalablement mise sous vide par l'étage de traînée (24) de l'autre pompe turbomoléculaire (14). Dans un mode de réalisation de cette invention, la pompe primaire (16) sert également à la mise sous vide simultanée de la chambre de préparation. Dans un autre mode de réalisation de cette invention, une seconde pompe primaire (20) permet la mise sous vide de la chambre de préparation (1). Ce dispositif permet de maintenir l'ultravide dans la zone d'ultravide (6) jusqu'à des pressions de 100 hPa dans la chambre de préparation (1). L'appareil à faisceau de particules selon cette invention s'applique notamment au microscope électronique à balayage à pression variable (variable pressure scanning electron microscope : VP-SEM) ou au microscope électronique à balayage environnemental (environmental scanning electron microscope : ESEM).
États désignés : CZ, JP, US.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, TR).
Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)