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1. (WO2002005305) RESEAU D'EMISSION D'ELECTRONS CHAUDS POUR PHOTOLITHOGRAPHIE PAR FAISCEAU ELECTRONIQUE ET ECRANS D'AFFICHAGE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication : WO/2002/005305 N° de la demande internationale : PCT/CH2000/000378
Date de publication : 17.01.2002 Date de dépôt international : 11.07.2000
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 : 08.02.2002
CIB :
H01J 1/312 (2006.01) ,H01J 31/12 (2006.01) ,H01L 51/52 (2006.01)
Déposants : BRUNE, Harald[DE/CH]; CH (UsOnly)
GRUETZMACHER, Detlef[DE/DE]; DE (UsOnly)
ECOLE POLYTECHNIQUE FEDERALE DE LAUSANNE (EPFL)[CH/CH]; Ecublens CH-1015 Lausanne, CH (AllExceptUS)
PAUL SCHERRER INSTITUT[CH/CH]; Würenlingen und Villigen CH-5232 Villigen, CH (AllExceptUS)
Inventeurs : BRUNE, Harald; CH
GRUETZMACHER, Detlef; DE
Mandataire : CRONIN, Brian ; Cronin Intellectual Property Route de Clementy 62 CH-1260 Nyon, CH
Données relatives à la priorité :
Titre (EN) HOT ELECTRON EMISSION ARRAY FOR E-BEAM PHOTOLITHOGRAPHY AND DISPLAY SCREENS
(FR) RESEAU D'EMISSION D'ELECTRONS CHAUDS POUR PHOTOLITHOGRAPHIE PAR FAISCEAU ELECTRONIQUE ET ECRANS D'AFFICHAGE
Abrégé : front page image
(EN) This invention relates to a device for emitting addressable locations comprises parallel spaced-apart first conductors (10) intersecting with parallel spaced-apart second conductors (11). The intersecting first and second conductors define addressable locations where electrons (12) are emitted in response to the application of an energizing voltage. One face of the first conductors is covered with an insulating layer (13) against which the second conductors (11) are applied, this insulating layer (13) forming a tunnel barrier for hot electrons (12) that travel ballistically through and are emitted from the second conductors (11) in response to the application of the energizing voltage. The emitted electrons impinge a target (30, 40, 50) which can be a light-emitting screen of a flat panel display, such as an electroluminescent polymer of a flat panel screen, or an electroluminescent phosphorous screen, or a target wafer bombarded by the electrons emitted from a flexible e-beam lithography mask. The intersecting conductors (10, 11) can be Al wires, or can be produced by C-MOS technology.
(FR) L'invention concerne un dispositif permettant d'émettre des emplacements adressables, comprenant des premiers conducteurs parallèles (10) espacés venant couper des seconds conducteurs parallèles (11) espacés. L'intersection des premiers et seconds conducteurs définit des emplacements adressables dans lesquels des électrons (12) sont émis en réponse à l'application d'une tension d'excitation. Une face des premiers conducteurs est recouverte d'une couche d'isolation (13) contre laquelle les seconds conducteurs (11) sont appliqués, ladite couche d'isolation (13) formant une barrière tunnel pour les électrons chauds (12) qui voyagent ballistiquement à travers les seconds conducteurs (11) et sont émis à partir de ceux-ci en réponse à l'application de la tension d'excitation. Les électrons émis heurtent une cible (30, 40, 50) qui peut être l'écran émetteur de lumière d'un affichage à écran plat, tel qu'un polymère électroluminescent d'écran plat, un écran électroluminescent au phosphore, ou une tranche cible bombardée par des électrons émis à partir d'un masque de lithographie électronique souple. Les conducteurs (10, 11) qui se coupent peuvent être des fils Al, ou peuvent être produits au moyen d'une technologie C-MOS.
États désignés : JP, US
Office européen des brevets (OEB (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE)
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)