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1. (WO2002004697) APPAREIL POUR LA MISE EN OEUVRE D'AU MOINS UNE OPERATION DE TRAITEMENT SUR UN SUBSTRAT
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2002/004697    N° de la demande internationale :    PCT/NL2001/000475
Date de publication : 17.01.2002 Date de dépôt international : 26.06.2001
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    08.02.2002    
CIB :
C23C 14/56 (2006.01), F16K 51/02 (2006.01), H01F 7/04 (2006.01)
Déposants : OTB GROUP B.V. [NL/NL]; Luchthavenweg 10 NL-5657 EB Eindhoven (NL) (AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BE, BF, BG, BJ, BR, BY, BZ, CA, CF, CG, CH, CI, CM, CN, CO, CR, CU, CY, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, ES, FI, FR, GA, GB, GD, GE, GH, GM, GN, GR, GW, HR, HU, ID, IE, IL, IN, IS, IT, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MC, MD, MG, MK, ML, MN, MR, MW, MX, MZ, NE, NL, NO, NZ, PL, PT, RO, RU, SD, SE, SG, SI, SK, SL, SN, SZ, TD, TG, TJ, TM, TR, TT, TZ, UA, UG, UZ, VN, YU, ZA, ZW only).
KOK, Ronaldus, Joannes, Cornelis, Maria [NL/NL]; (NL) (US Seulement).
HOMPUS, Michael, Adrianus, Theodorus [NL/NL]; (NL) (US Seulement).
EVERS, Marinus, Franciscus, Johannes [NL/NL]; (NL) (US Seulement).
HABRAKEN, Anton [NL/NL]; (NL) (US Seulement).
DINGS, Franciscus, Cornelius [NL/NL]; (NL) (US Seulement)
Inventeurs : KOK, Ronaldus, Joannes, Cornelis, Maria; (NL).
HOMPUS, Michael, Adrianus, Theodorus; (NL).
EVERS, Marinus, Franciscus, Johannes; (NL).
HABRAKEN, Anton; (NL).
DINGS, Franciscus, Cornelius; (NL)
Mandataire : PRINS, A., W.; c/o Vereenigde Nieuwe Parklaan 97 NL-2587 BN The Hague (NL)
Données relatives à la priorité :
1015690 12.07.2000 NL
Titre (EN) APPARATUS FOR PERFORMING AT LEAST ONE PROCESS ON A SUBSTRATE
(FR) APPAREIL POUR LA MISE EN OEUVRE D'AU MOINS UNE OPERATION DE TRAITEMENT SUR UN SUBSTRAT
Abrégé : front page image
(EN)Apparatus for performing at least one processing operation on a substrate, the apparatus being provided with at least one process chamber (2) and a vacuum lock (1) for the purposes of placing the substrate from the surroundings into a process chamber without the reduced pressure in the respective process chamber being lost, the vacuum lock comprising a vacuum chamber which is bounded by a number of walls (5, 6) and to which a vacuum pump (4) is connected, while in one of the walls at least one supply opening (7) is provided, and for the purpose of the or each process chamber in one of the walls a process chamber opening belonging to a respective process chamber is provided, the at least one supply opening being externally closable with an outer cover (10) and being closable from the vacuum chamber with an inner cover (10). Further disclosed is an assembly of such an apparatus with a transport device for supplying substrates to a supply opening of the vacuum lock and removing same.
(FR)L'invention concerne un appareil pour la mise en oeuvre d'au moins une opération de traitement sur un substrat, ledit appareil comprenant au moins une chambre et des moyens d'isolement par le vide permettant la mise en place du substrat en le protégeant de l'environnement, dans une chambre de traitement sans que la pression réduite dans la chambre de traitement correspondante soit perdue, les moyens d'isolement par le vide comprenant une chambre à vide qui est reliée par une pluralité de parois, et à laquelle une pompe à vide est connectée, cependant qu'il est prévu dans l'une des parois, au moins une ouverture d'alimentation ; afin d'utiliser la/ou chaque chambre de traitement dans l'une des parois, il est prévu une ouverture de chambre de traitement appartenant à une chambre de traitement correspondante, l'ouverture d'alimentation pouvant être obturée extérieurement par un couvercle extérieur et pouvant être isolée de la chambre à vide par un couvercle intérieur. L'invention concerne en outre un ensemble comprenant l'appareil précité et un dispositif de transport destiné à amener des substrats à une ouverture d'alimentation des moyens d'isolement par le vide et à retirer lesdits substrats.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NO, NZ, PL, PT, RO, RU, SD, SE, SG, SI, SK, SL, TJ, TM, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VN, YU, ZA, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : néerlandais; flamand (NL)