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1. (WO2002004136) PROCESSEUR CENTRIFUGE DOUBLE CASSETTE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2002/004136    N° de la demande internationale :    PCT/US2001/018899
Date de publication : 17.01.2002 Date de dépôt international : 11.06.2001
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    22.01.2002    
CIB :
B08B 3/02 (2006.01), H01L 21/673 (2006.01)
Déposants : SEMITOOL, INC. [US/US]; 655 West Reserve Drive, Kalispell, MT 59901 (US)
Inventeurs : THOMPSON, Raymon, F.; (US).
NEIL, Clif; (US)
Mandataire : OHRINER, Kenneth, H.; Lyon & Lyon LLP, P00-0013, 633 West Fifth Street, Suite 4700, Los Angeles, CA 90071-2066 (US)
Données relatives à la priorité :
09/611,537 07.07.2000 US
Titre (EN) DUAL CASSETTE CENTRIFUGAL PROCESSOR
(FR) PROCESSEUR CENTRIFUGE DOUBLE CASSETTE
Abrégé : front page image
(EN)An apparatus (20) for processing flat media, such as semiconductor wafers, has a rotor (80) including positions (110, 112) for first and second cassettes (120, 122). The cassettes (120, 122) are restrained within the rotor (80) by support tubes (88, 92) and hold down pins (102). The processing capacity of the apparatus is increased, as the apparatus can hold two cassettes.
(FR)Selon l'invention, un appareil (20) servant à traiter des supports plats, tels que des plaquettes à semi-conducteurs, comprend un rotor (80) présentant des positions (110, 112) pour une première et une deuxième cassettes (120, 122). Ces cassettes (120, 122) sont retenues à l'intérieur du rotor (80) par des tubes-supports (88, 92) et des ergots de retenue (102). La capacité de traitement de l'appareil est accrue puisque l'appareil peut recevoir deux cassettes.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NO, NZ, PL, PT, RO, RU, SD, SE, SG, SI, SK, SL, TJ, TM, TR, TT, TZ, UA, UG, UZ, VN, YU, ZA, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)