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1. (WO2002003509) LASER A DECHARGE GAZEUSE A VITESSE DE REPETITION EXTREME
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2002/003509    N° de la demande internationale :    PCT/US2001/014970
Date de publication : 10.01.2002 Date de dépôt international : 09.05.2001
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    30.01.2002    
CIB :
G03F 7/20 (2006.01), H01S 3/036 (2006.01), H01S 3/038 (2006.01), H01S 3/04 (2006.01), H01S 3/041 (2006.01), H01S 3/097 (2006.01), H01S 3/0971 (2006.01), H01S 3/0975 (2006.01), H01S 3/104 (2006.01), H01S 3/105 (2006.01), H01S 3/1055 (2006.01), H01S 3/11 (2006.01), H01S 3/134 (2006.01), H01S 3/22 (2006.01), H01S 3/225 (2006.01)
Déposants : CYMER, INC. [US/US]; 16750 Via Del Campo Court San Diego, CA 92127-1712 (US).
OLIVER, I., Roger [US/US]; (US) (US Seulement).
PARTLO, William, N. [US/US]; (US) (US Seulement).
NESS, Richard, M. [US/US]; (US) (US Seulement).
SANDSTROM, Richard, L. [US/US]; (US) (US Seulement).
ANDERSON, Stuart, L. [US/US]; (US) (US Seulement).
IVASCHENKO, Alex, P. [UA/US]; (US) (US Seulement).
HOWEY, James, K. [US/US]; (US) (US Seulement).
KULGEYKO, Vladimir [US/US]; (US) (US Seulement).
HUEBER, Jean-Marc [FR/US]; (US) (US Seulement).
BIRX, Deborah, L. [US/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : OLIVER, I., Roger; (US).
PARTLO, William, N.; (US).
NESS, Richard, M.; (US).
SANDSTROM, Richard, L.; (US).
ANDERSON, Stuart, L.; (US).
IVASCHENKO, Alex, P.; (US).
HOWEY, James, K.; (US).
KULGEYKO, Vladimir; (US).
HUEBER, Jean-Marc; (US).
BIRX, Daniel, L.;
Mandataire : ROSS, John, R.; Cymer, Inc. Legal Department-MS/1-2A 16750 Via Del Campo Court San Diego, CA 92127-1712 (US)
Données relatives à la priorité :
09/608,543 30.06.2000 US
09/684,629 06.10.2000 US
Titre (EN) EXTREME REPETITION RATE GAS DISCHARGE LASER
(FR) LASER A DECHARGE GAZEUSE A VITESSE DE REPETITION EXTREME
Abrégé : front page image
(EN)A gas discharge laser capable of operating at pulse rates in the range of 4,000 Hz to 6,000 Hz at pulse energies in the range of 5 mJ to 10 mJ or greater. Important improvements over the prior art designs include: a laser chamber (10A) having a gas flow path with a gradually increasing cross section downstream of the discharge electrodes to permit recovery of a large percentage of the pressure drop in the discharge region; a squirrel cage type fan (46A) for producing gas velocities through the discharge region of more than 76 m/s and capable of continous trouble-free operation for several months; a heat exchanger system (58A) capable of removing excess of 16 kW of heat energy from the gas laser; a pulse power system capable of providing precisely controlled electrical pulses to the electrodes (18A, 20A) needed to produce laser pulses at the desired pulse energies in the operating range; a laser beam measurement control system capable of measuring pulse energy wavelength and bandwidth on a pulse-to-pulse laser with feedbackpulse-to-pulse control of pulse energy and wavelength.
(FR)L'invention concerne un laser à décharge gazeuse pouvant fonctionner à des vitesses d'impulsions de l'ordre de 4000 à 6000 Hz à des énergies d'impulsion de l'ordre de 5 à 10 mJ ou plus. Parmi les améliorations majeures par rapport aux modèles déjà existants, figurent une chambre laser (10A) ayant une voie d'écoulement de gaz dotée d'un profil à augmentation régulière en aval des électrodes de décharge pour permettre la récupération d'un grand pourcentage de la baisse de pression dans la zone de décharge, un ventilateur du type cage d'écureuil (46A) pour produire des vitesses de gaz à travers la zone de décharge supérieures à 76m/s et capable de fonctionner de manière continue sans problème pendant des mois, un système d'échangeur thermique (58A) capable d'éliminer plus de 16kW d'énergie thermique du laser à gaz, un système de puissance d'impulsions capable de fournir aux électrodes (18A, 20A) des impulsions électriques commandées avec précision, électrodes nécessaires à la production d'impulsions laser à énergies d'impulsion voulues comprises dans la plage d'exploitation, un système de commande de mesure de faisceaux laser capable de mesurer la longueur d'onde et la largeur de bande de l'énergie d'impulsion sur un laser impulsion par impulsion grâce à la commande à rétroaction impulsion par impulsion de l'énergie et de la longueur d'onde des impulsions.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NO, NZ, PL, PT, RO, RU, SD, SE, SG, SI, SK, SL, TJ, TM, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VN, YU, ZA, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)