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1. (WO2002003418) LAMPE AMELIOREE POUR CHAMBRE DE TRAITEMENT THERMIQUE RAPIDE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2002/003418    N° de la demande internationale :    PCT/US2001/019293
Date de publication : 10.01.2002 Date de dépôt international : 15.06.2001
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    17.01.2002    
CIB :
H01K 1/18 (2006.01), H01K 1/26 (2006.01), H01K 1/50 (2006.01)
Déposants : APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; P.O. Box 450A Santa Clara, CA 95052 (US)
Inventeurs : RANISH, Joseph, M.; (US)
Mandataire : BERNADICOU, Michael, A.; Blakely, Sokoloff, Taylor & Zafman LLP 7th Floor 12400 Wilshire Boulevard Los Angeles, CA 90025 (US)
Données relatives à la priorité :
09/608,731 30.06.2000 US
Titre (EN) LAMP FOR A RAPID THERMAL PROCESSING CHAMBER
(FR) LAMPE AMELIOREE POUR CHAMBRE DE TRAITEMENT THERMIQUE RAPIDE
Abrégé : front page image
(EN)A halogen lamp for use in semiconductor processing comprises a bulb enclosing at least one coil having a pair of inner leads, a lamp base configured to receive the inner leads, and a heat shield disposed between the coil and the lamp base. The lamp can include a bulb enclosing at least one col having a pair of inner leads; a lamp base enclosing a bulb enclosing the inner leads and a plurality of foils, each inner lead electrically coupled to one of the foils, wherein the inner leads have a helical shape within the lamp base; and an elongated member disposed within the each inner lead, such that gaps between the lamp bulb and the foils are helcal in shape.
(FR)L'invention concerne une lampe halogène destinée à être utilisée dans un procédé de traitement de semi-conducteur, composée d'une ampoule renfermant au moins un filament en spirale couplé à une paire de fils intérieurs, une base de lampe conçue pour recevoir ces fils intérieurs, et un bouclier thermique situé entre le filament en spirale et la base de la lampe. La lampe peut comprendre une ampoule renfermant au moins un filament en spirale couplé à une paire de fils intérieurs ; une base de lampe renfermant les fils intérieurs et une pluralité de feuilles, chaque fil intérieur étant couplé électriquement à une des feuilles, les fils intérieurs possédant une forme hélicoïdale dans la base de la lampe ; et un élément allongé situé dans chaque fil, de façon que les espaces situés entre l'ampoule de la lampe et les feuilles aient une forme hélicoïdale.
États désignés : JP, KR.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, TR).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)