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1. (WO2002003046) GENERATEUR ET DETECTEUR D'ULTRASONS A MASQUE OPTIQUE UTILISANT UN RESEAU DE DIFFRACTION POUR L'ETABLISSEMENT DE PLUSIEURS IMPULSIONS DE DEFORMATION A DISTRIBUTION SPATIALE ET VARIATION TEMPORELLE DANS UN ECHANTILLON
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2002/003046    N° de la demande internationale :    PCT/US2001/020253
Date de publication : 10.01.2002 Date de dépôt international : 26.06.2001
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    30.10.2001    
CIB :
G01N 21/00 (2006.01), G01N 21/55 (2006.01), G01B 11/06 (2006.01)
Déposants : BROWN UNIVERSITY RESEARCH FOUNDATION [US/US]; 42 Charlesfield Street, Providence, RI 02912 (US)
Inventeurs : MARIS, Humphrey, J.; (US)
Mandataire : SMITH, Harry, F.; Harrington & Smith, LLP, 4 Research Drive, Shelton, CT 06484-6212 (US)
Données relatives à la priorité :
09/608,865 30.06.2000 US
Titre (EN) ULTRASONIC GENERATOR AND DETECTOR USING AN OPTICAL MASK FOR DETERMINING CHARACTERISTIC OF A SAMPLE
(FR) GENERATEUR ET DETECTEUR D'ULTRASONS A MASQUE OPTIQUE UTILISANT UN RESEAU DE DIFFRACTION POUR L'ETABLISSEMENT DE PLUSIEURS IMPULSIONS DE DEFORMATION A DISTRIBUTION SPATIALE ET VARIATION TEMPORELLE DANS UN ECHANTILLON
Abrégé : front page image
(EN)A system and method for determining characteristic of a sample (10) includes steps of placing a mask (16) over a surface of one film (14), where the mask (16) has a top surface and a bottom surface that is placed adjacent to the surface of the film (14). The bottom surface of the mask (16) has formed therein a plurality of features for forming a grating. Directs optical pump pulses (30) and probe pulses (32) through the mask (16) to the surface of the film (14). The pump pulses (30) are spatially distributed by the grating for launching a plurality of spatially distributed, time varying strain pulses within the film (14), which cause a change in optical constants of the film (14). Detects a reflected or transmitted portion (22B) of the probe pulses (32), which are also spatially distributed by the grating. Measures a change in characteristic of reflected or transmitted probe pulses (22B) due to the change in optical constants, and determines characteristic of the sample (10) from measured change.
(FR)L'invention concerne un procédé et un système permettant de déterminer au moins une caractéristique d'échantillon comportant un substrat et au moins un film sur une surface du substrat ou par-dessus cette surface. Le procédé consiste à placer d'abord un masque sur une surface libre d'au moins un film, le masque ayant une surface supérieure et une surface inférieure adjacentes à la surface libre du film. La surface inférieure du masque comporte une pluralité d'éléments qui constituent au moins un réseau de diffraction. Ensuite, on oriente des impulsions de pompe optique à travers le masque vers la surface libre, ces impulsions individuelles étant suivies d'au moins une impulsion de sonde optique. Les impulsions ont une distribution spatiale sous l'effet du réseau, pour l'établissement de plusieurs impulsions de déformation à distribution spatiale et variation temporelle dans le film, entraînant une modification détectable des constantes optiques du film. On décèle dans l'étape suivante une partie réfléchie ou transmise des impulsions de sonde optique, également distribuées spatialement par le réseau. Enfin, on mesure une modification concernant au moins une caractéristique d'au moins une des impulsions de sonde optique réfléchies ou transmises, suite à la modification des constantes optiques, et on détermine la ou les caractéristiques de l'échantillon à partir de la modification mesurée dans la ou les caractéristiques. L'invention concerne également un masque optique qui répond aux besoins décrits.
États désignés : CA, JP.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, TR).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)