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1. (WO2001080289) SYSTEME DE MESURE DE SUBSTRAT MODULAIRE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2001/080289    N° de la demande internationale :    PCT/NL2001/000293
Date de publication : 25.10.2001 Date de dépôt international : 12.04.2001
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    13.11.2001    
CIB :
H01L 21/00 (2006.01)
Déposants : NANOPHOTONICS AG [DE/DE]; Galileo-Galilei-Str. 28 55129 Mainz (DE) (Tous Sauf US).
RECIF SA [FR/FR]; ZI du Moulin F-31840 Aussonne (FR) (Tous Sauf US).
ABRAHAM, Michael [DE/DE]; (DE) (US Seulement).
RAAIJMAKERS, Ivo, J., M., M. [NL/NL]; (NL) (US Seulement).
GAUDON, Alain [FR/FR]; (FR) (US Seulement).
ASTEGNO, Pierre [FR/FR]; (FR) (US Seulement)
Inventeurs : ABRAHAM, Michael; (DE).
RAAIJMAKERS, Ivo, J., M., M.; (NL).
GAUDON, Alain; (FR).
ASTEGNO, Pierre; (FR)
Mandataire : JORRITSMA, Ruurd; Nederlandsch Octrooibureau Scheveningseweg 82 P.O. Box 29720 NL-2502 LS The Hague (NL)
Données relatives à la priorité :
PCT/NL00/00240 13.04.2000 NL
Titre (EN) MODULAR SUBSTRATE MEASUREMENT SYSTEM
(FR) SYSTEME DE MESURE DE SUBSTRAT MODULAIRE
Abrégé : front page image
(EN)Substrate measurement system including a measurement chamber (30), and a substrate handling chamber (7) possessing substrate transfer means (10) and a substrate container interface (1) arranged to receive a substrate container (8), the handling chamber (7) containing a first interface (50) to connect the measurement chamber (30), the measurement chamber (30) containing a second interface (51) to connect to the handling chamber (7), and the transfer means (10) being arranged to transfer substrates between the container (8) and the measurement chamber (30) through the handling chamber (7), in which system a second measurement chamber (39) is provided, having the same second interface (51) as the first measurement chamber (30) to replace the latter chamber (30).
(FR)L'invention concerne un système de mesure de substrat comprenant une chambre de mesure (30) et une chambre de manipulation de substrat (7) dotée d'un moyen de transfert de substrat (10) et d'une interface (1) de récipient à substrat conçue pour recevoir un récipient à substrat (8). La chambre de manipulation (7) contient une première interface (50) à relier à la chambre de mesure (30), laquelle (30) contient une seconde interface (51) à relier à la chambre de manipulation (7), et le moyen de transfert (10) étant conçu pour transférer les substrats entre le récipient (8) et la chambre de mesure, à travers la chambre de manipulation (7). Une seconde chambre de mesure (39) possédant la même seconde interface (51) que la chambre de mesure, est prévue dans le système, en remplacement de la chambre (30).
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NO, NZ, PL, PT, RO, RU, SD, SE, SG, SI, SK, SL, TJ, TM, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VN, YU, ZA, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)