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1. (WO2001079091) SYSTEME DE TRAITEMENT EN PARALLELE DE PIECES A USINER
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2001/079091    N° de la demande internationale :    PCT/US2001/011824
Date de publication : 25.10.2001 Date de dépôt international : 10.04.2001
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    07.11.2001    
CIB :
B25J 9/04 (2006.01), B25J 18/04 (2006.01), H01L 21/677 (2006.01)
Déposants : ASYST TECHNOLOGIES, INC. [US/US]; 48761 Kato Road, Fremont, CA 94538 (US)
Inventeurs : BABBS, Daniel; (US).
EWALD, Timothy; (US).
COADY, Matthew; (US).
KIM, Jae; (US)
Mandataire : MILLER, Mark, E.; Fliesler Dubb Meyer and Lovejoy LLP, Suite 400, Four Embarcadero Center, San Francisco, CA 94111-4156 (US)
Données relatives à la priorité :
09/547,551 12.04.2000 US
Titre (EN) SYSTEM FOR PARALLEL PROCESSING OF WORKPIECES
(FR) SYSTEME DE TRAITEMENT EN PARALLELE DE PIECES A USINER
Abrégé : front page image
(EN)A dual paddle end effector robot (108) is disclosed which is capable of parallel processing of workpieces. The end effector (108) includes a lower paddle (250) rotatably coupled to an end of the distal link (106), and an upper paddle (252) rotatably coupled to the lower paddle (250). The lower paddle supports a drive assembly capable of rotating the upper paddle (252) with respect to the lower paddle (250). In one embodiment of the present invention, the dual paddle end effector robot (108) may be used within a wafer sorter to perform parallel processing of workpieces on a pair of aligners within a wafer sorter. In such an embodiment, the robot (100) may first acquire a pair of workpieces from adjacent shelves within the workpiece cassette. After withdrawing from the cassette, the respective paddles on the end effector (108) may fan out and transfer the wafers to the chucks of the respective aligners. After processing of the workpieces on the aligners is complete, the fanned end effector paddles may reacquire the workpieces, the upper paddle (252) may return to its home position located directly over the lower paddle (250), and then return the processed workpieces to their original cassette or to a new cassette. Parallel processing of workpieces in this fashion provides significantly greater throughput than in conventional wafer sorter systems. Throughput may be improved still further by providing buffering locations for the workpieces at the respective aligners.
(FR)L'invention concerne un robot d'actionneur d'extrémité à tige duale (108) servant au traitement en parallèle de pièces à usiner. L'actionneur d'extrémité (108) comporte une tige inférieure (250) couplée pivotante à une extrémité du lien distal et une tige supérieure (252) couplée pivotante à la tige inférieure (250). Cette dernière supporte un ensemble d'entraînement servant à faire tourner la tige supérieure (252) par rapport à la tige inférieure (250). Dans un mode de réalisation de la présente invention, on peut utiliser ledit robot (108) à l'intérieur d'une trieuse de tranches de manière à réaliser le traitement en parallèle des pièces à usiner sur une paire d'aligneurs disposés dans ladite trieuse. Dans un tel mode de réalisation, le robot (100) peut, dans un premier temps, saisir une paire de pièces à usiner sur des étagères adjacentes à l'intérieur de la cassette de pièces à usiner. Après avoir retiré les tranches de la cassette, les tiges respectives situées sur l'actionneur d'extrémité (108) peuvent les distribuer en éventail les tranches et les transférer vers les supports des aligneurs respectifs. Une fois réalisé le traitement desdites pièces sur les aligneurs, les tiges de l'actionneur d'extrémité en éventail peuvent saisir à nouveau les pièces à usiner, la tige supérieure (252) peut retourner à sa position initiale située directement sur la tige inférieure (250) et ramener ensuite les pièces à usiner traitées dans leur cassette d'origine ou dans une nouvelle cassette. A l'aide de ce traitement en parallèle de pièces à usiner, on obtient un rendement considérablement supérieur à celui obtenu avec des systèmes traditionnels de tri de tranches. On peut encore augmenter le rendement en produisant des emplacements tampons pour les pièces à usiner au niveau des aligneurs respectifs.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NO, NZ, PL, PT, RO, RU, SD, SE, SG, SI, SK, SL, TJ, TM, TR, TT, TZ, UA, UG, UZ, VN, YU, ZA, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)