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1. (WO2001078115) REVETEMENT DE SEPARATION DESTINE A DES MATERIAUX VITREUX
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2001/078115    N° de la demande internationale :    PCT/US2001/011223
Date de publication : 18.10.2001 Date de dépôt international : 06.04.2001
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    26.10.2001    
CIB :
C03C 17/22 (2006.01), C23C 16/44 (2006.01)
Déposants : ASM AMERICA, INC. [US/US]; 3440 East University Drive Phoenix, AZ 85034 (US)
Inventeurs : HALPIN, Michael, W.; (US)
Mandataire : ALTMAN, Daniel, E.; Knobbe, Martens, Olson and Bear LLP 620 Newport Center Drive 16 th Floor Newport Beach, CA 92660 (US)
Données relatives à la priorité :
60/195,561 06.04.2000 US
Titre (EN) BARRIER COATING FOR VITREOUS MATERIALS
(FR) REVETEMENT DE SEPARATION DESTINE A DES MATERIAUX VITREUX
Abrégé : front page image
(EN)A chemical vapor deposition apparatus comprises a reaction chamber and one or more vitreous components having an outer surface that is covered at least in part by a devitrification barrier layer. In some arrangements, the one or more vitrious components can include a thermocouple. In a preferred arrangement, the devitrification barrier coating is formed from silicon nitride, which can be deposited on the vitreous component using chemical vapor deposition (CVD).
(FR)La présente invention concerne un appareil de dépôt chimique en phase vapeur qui comprend une chambre de réaction et un ou plusieurs composants vitreux dont la surface externe est couverte au moins en partie par une couche de séparation de dévitrification. Dans certains agencements, ce ou ces composants vitreux peuvent comprendre un thermocouple. Dans un agencement préféré, le revêtement de séparation de dévitrification est formé à partir de nitrure de silicium, qui peut être déposé sur le composant vitreux par dépôt chimique en phase vapeur.
États désignés : JP, KR.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, TR).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)