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1. (WO2001078114) DETECTEUR D'ORIENTATION DE TRANCHES DE GaAs
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2001/078114    N° de la demande internationale :    PCT/US2001/010728
Date de publication : 18.10.2001 Date de dépôt international : 02.04.2001
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    05.10.2001    
CIB :
H01L 21/68 (2006.01)
Déposants : VARIAN SEMICONDUCTOR EQUIPMENT ASSOCIATES, INC. [US/US]; 35 Dory Road, Gloucester, MA 01930 (US)
Inventeurs : VAN DER MUEHLEN, Hajo; (DE).
MOUTTET, Peter, Bruno; (DE).
BOCHE, Bernhard; (DE)
Mandataire : McCLELLAN, William, R.; Wolf, Greenfield & Sacks, P.C., 600 Atlantic Avenue, Boston, MA 02210 (US)
Données relatives à la priorité :
09/547,133 07.04.2000 US
Titre (EN) WAFER ORIENTATION SENSOR FOR GaAs WAFERS
(FR) DETECTEUR D'ORIENTATION DE TRANCHES DE GaAs
Abrégé : front page image
(EN)A wafer orienter includes a mechanism for rotating a wafer and a wafer orientation sensor. The wafer orientation sensor includes a light source for emitting light, a light sensor for sensing the light emitted by the light source as an edge of the wafer is rotated between the light source and the sensor and for producing a sensor signal representative of the sensed light, and an optical filter positioned between the light source and the light sensor. The optical filter has light-transmission characteristic wherein light in the pass band of the wafer is blocked. When the wafer orientation sensor is used for sensing gallium arsenide wafers, the optical filter is selected to block light at wavelengths greater than about 860 nanometers.
(FR)L'invention porte sur un orienteur de tranches de semi-conducteurs comportant un mécanisme de rotation de la tranche, et un détecteur d'orientation de la tranche composé: d'une source lumineuse, d'un détecteur de la lumière émise par la source alors qu'un bord de la tranche tourne entre la source et le détecteur de manière à produire un signal de détection représentatif de la lumière détectée, et d'un filtre optique placé entre la source et le détecteur de lumière. Le filtre optique bloque la transmission de la lumière dans la bande passante de la tranche. Lorsque le détecteur d'orientation sert pour des tranches de GaAs, on choisit le filtre optique pour qu'il arrête la lumière pour les longueurs d'onde supérieures à environ 860 nm.
États désignés : CN, IL, JP, KR.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, TR).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)