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1. (WO2001078112) PROCEDE POUR CHARGER ET DECHARGER UN BASSIN DE TRAITEMENT
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication : WO/2001/078112 N° de la demande internationale : PCT/EP2001/003577
Date de publication : 18.10.2001 Date de dépôt international : 29.03.2001
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 : 18.10.2001
CIB :
H01L 21/00 (2006.01)
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
L
DISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21
Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
Déposants : RODEWALDT, Thomas[DE/DE]; DE (UsOnly)
WEHRLE, Felix[DE/DE]; DE (UsOnly)
MATTSON WET PRODUCTS GMBH[DE/DE]; Carl-Benz-Strasse 10 72124 Pliezhausen, DE (AllExceptUS)
Inventeurs : RODEWALDT, Thomas; DE
WEHRLE, Felix; DE
Données relatives à la priorité :
100 17 010.205.04.2000DE
Titre (EN) METHOD FOR CHARGING AND DISCHARGING A PROCESS TANK
(FR) PROCEDE POUR CHARGER ET DECHARGER UN BASSIN DE TRAITEMENT
(DE) VERFAHREN ZUM BE- UND ENTLADEN EINES BEHANDLUNGSBECKENS
Abrégé :
(EN) The invention relates to a method for charging and discharging a process tank. The aim of the invention is to simplify the charging and discharging of a process tank with disc-shaped substrates. To this end, the disc-shaped substrates are picked up during charging by a gripper that comprises at least two opposite gripper elements with receiving slots facing one another. The substrates are positioned above the process tank in such a manner that they are aligned with guide slots within the process tank. The gripper is lowered so as to partially lower the substrates into the process tank until they contact a lifted substrate lifting element inside the process tank. The gripper elements are then moved apart into a position in which the substrates are no longer held but are still guided in the receiving slots and they are further lowered into the process tank by lowering the lifting element. For discharging the substrates, a gripper that comprises at least two opposite gripper elements with receiving slots facing one another is positioned above the process tank in such a manner that the guide slots in the tank and the receiving slots in the gripper elements are aligned with one another. The substrates are then lifted by the substrate lifting element and introduced into the receiving slots of the gripper elements. When a predetermined position is reached, the gripper elements are moved towards one another in order to grip the substrates and the substrates are lifted out of the process tank by lifting the gripper.
(FR) L'invention concerne un procédé pour charger et décharger un bassin de traitement. L'objectif de l'invention est de simplifier le chargement d'un bassin de traitement avec des substrats en forme de disque et également le déchargement de ce basin. A cet effet, les substrats en forme de disque sont saisis pendant le chargement par un preneur qui comprend au moins deux éléments preneurs opposés comportant des fentes de réception en vis-à-vis. Les substrats sont placés au-dessus du bassin de traitement de telle sorte qu'ils sont alignés par rapport à des fentes de guidage, dans le bassin de traitement. Le preneur est abaissé de façon à abaisser partiellement les substrats partiellement dans le bassin de traitement, jusqu'à ce qu'ils viennent en contact avec un élément de levage de substrat, levé, à l'intérieur du bassin de traitement. Les éléments preneurs sont ensuite séparés l'un de l'autre pour prendre une position dans laquelle les substrats ne sont plus maintenus mais toutefois guidés dans les fentes de réception, les substrats étant alors abaissés dans le bassin de traitement par abaissement de l'élément de levage. Pour le déchargement des substrats, un preneur qui comprend au moins deux éléments preneurs opposés pourvus de fentes de réception en vis-à-vis est placé au-dessus du bassin de traitement de telle sorte que des fentes de guidage du bassin et les fentes de réception des éléments preneurs soient alignées. Les substrats sont ensuite levés par l'élément de levage de substrat et introduits dans les fentes de réception des éléments preneurs. Lorsqu'une position prédéterminée est atteinte, les éléments preneurs sont rapprochés l'un de l'autre pour qu'ils puissent saisir les substrats, ces derniers étant sortis du bassin de traitement par levage du preneur.
(DE) Um das Be- und Entladen von scheibenförmigen Substraten in ein Behandlungsbecken hinein bzw. aus dem Behandlungsbecken heraus zu vereinfachen, sieht die vorliegende Erfindung ein Verfahren zum Be- und Entladen eines Behandlungsbeckens vor. Beim Beladen werden die scheibenförmigen Substrate mit einem Greifer, der wenigstens zwei gegenüberliegende Greifelemente mit zueinander weisenden Aufnahmeschlitzen aufweist ergriffen, die Substrate werden oberhalb des Behandlungsbeckens derart positioniert, daß sie zu Führungsschlitzen innerhalb des Behandlungsbeckens ausgerichtet sind, und der Greifer wird abgesenkt, um die Substrate teilweise in das Behandlungsbecken abzusenken, bis sie ein angehobenes Substrathubelement im Behandlungsbecken kontaktieren. Anschließend werden die Greifelemente in eine Stellung auseinander bewegt, in der die Substrate nicht mehr gehalten werden, jedoch in den Aufnahmeschlitzen geführt sind und durch Absenken des Hubelements werden sie weiter in das Behandlungsbecken abgesenkt. Beim Entladen der Substrate wird zunächst ein Greifer, der wenigstens zwei gegenüberliegende Greifelemente mit zueinander weisenden Aufnahmeschlitzen oberhalb des Behandlungsbeckens derart positioniert, daß die Führungsschlitze im Becken und die Aufnahmeschlitze in den Greifelementen zueinander ausgerichtet sind. Anschließend werden die Substrate durch das Substrathubelement angehoben und in die Aufnahmeschlitze der Greifelemente eingeführt. Beim Erreichen einer bestimmten Position werden die Greifelemente aufeinander zu bewegt um die Substrate zu ergreifen und die Substrate werden durch Anheben des Greifers aus dem Behandlungsbecken herausgehoben.
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États désignés : JP, KR, SG, US
Office européen des brevets (OEB (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, TR)
Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)