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1. WO2001076329 - DISPOSITIF DE TRAITEMENT AU PLASMA

Numéro de publication WO/2001/076329
Date de publication 11.10.2001
N° de la demande internationale PCT/JP2001/000311
Date du dépôt international 18.01.2001
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 20.09.2001
CIB
H01J 37/32 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
JTUBES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE OU LAMPES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE
37Tubes à décharge pourvus de moyens permettant l'introduction d'objets ou d'un matériau à exposer à la décharge, p.ex. pour y subir un examen ou un traitement
32Tubes à décharge en atmosphère gazeuse
Déposants
  • TOKYO ELECTRON LIMITED [JP]/[JP] (AllExceptUS)
  • ANDO, Makoto [JP]/[JP] (AllExceptUS)
  • NIHON KOSHUHA CO., LTD. [JP]/[JP] (AllExceptUS)
  • YASAKA, Yasuyoshi [JP]/[JP]
  • ISHII, Nobuo [JP]/[JP] (UsOnly)
  • SHINOHARA, Kibatsu [JP]/[JP] (UsOnly)
Inventeurs
  • YASAKA, Yasuyoshi
  • ISHII, Nobuo
  • SHINOHARA, Kibatsu
Mandataires
  • YOSHITAKE, Kenji
Données relatives à la priorité
2000-9366030.03.2000JP
Langue de publication japonais (JA)
Langue de dépôt japonais (JA)
États désignés
Titre
(EN) APPARATUS FOR PLASMA PROCESSING
(FR) DISPOSITIF DE TRAITEMENT AU PLASMA
Abrégé
(EN)
A plasma device for uniform processing of large-size wafers. The device comprises a processing container (4) that is a bottomed cylinder with an upper opening covered with a quartz plate (8), the cylinder including a processing stage (10) for holding a wafer (W); a microwave device (50) for supplying TE11-mode microwave; a cylindrical waveguide (52) including a waveguide space, connected with the microwave device (50) on one end, and extending toward the quartz plate (8); a radial waveguide box (54) including a waveguide space, connected with the other end of the waveguide (52), spreading radially outward in the shape of a flange, and falling toward the quartz board (8) to serve as a side wall; and a disk-like slot antenna (60) arranged along the quartz board (8) to cover a lower opening of the waveguide box (54). A circular polarization converter (56) can be provided to rotate microwave on the axis of the cylindrical waveguide (52) and send it to the waveguide box (54).
(FR)
L'invention concerne un dispositif comprenant un récipient de traitement (4) consistant en un cylindre à fond pourvu d'une ouverture supérieure recouverte d'une plaque de quartz (8); le cylindre comprenant un niveau de transformation (10) qui permet de maintenir une tranche (W); un dispositif hyperfréquence (50) permettant de fournir une hyperfréquence en mode TE11; un guide d'ondes cylindrique (52) comprenant un espace guide d'ondes, connecté au dispositif hyperfréquence (50) à une extrémité et s'étendant vers la plaque de quartz (8); un boîtier guide d'ondes (54) radial comprenant un espace guide d'ondes, connecté à l'autre extrémité du guide d'ondes (52), s'étalant de manière radiale vers l'extérieur en formant une collerette, et retombant vers la plaque de quartz (8) de manière à servir de paroi latérale; et une antenne (60) à fentes en forme de disque disposée le long de la plaque de quartz (8) de manière à couvrir une ouverture inférieure du boîtier guide d'ondes (54). Un convertisseur de polarisation circulaire (56) peut être ajouté afin de faire tourner l'hyperfréquence sur l'axe du guide d'ondes cylindrique (52) et l'envoyer vers le boîtier guide d'ondes (54).
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