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1. (WO2001075955) COMPOSITIONS SOLVANTES FLUOREES CONTENANT DU FLUORURE D"HYDROGENE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2001/075955    N° de la demande internationale :    PCT/US2000/018516
Date de publication : 11.10.2001 Date de dépôt international : 06.07.2000
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    21.02.2001    
CIB :
C11D 7/08 (2006.01), C11D 7/50 (2006.01), C11D 11/00 (2006.01), H01L 21/306 (2006.01)
Déposants : 3M INNOVATIVE PROPERTIES COMPANY [US/US]; 3M Center, Post Office Box 33427, Saint Paul, MN 55133-3427 (US)
Inventeurs : BEHR, Frederick, E.; (US).
ZAZZERA, Lawrence, A.; (US).
RAJTAR, Paul, E.; (US).
PARENT, Michael, J.; (US)
Mandataire : KOKKO, Kent, S.; Office of Intellectual Property Counsel, Post Office Box 33427, Saint Paul, MN 55133-3427 (US).
VOSSIUS & PARTNER (No. 31); P.O. Box 86 07 67, D-81634 München (DE)
Données relatives à la priorité :
09/541,453 31.03.2000 US
Titre (EN) FLUORINATED SOLVENT COMPOSITIONS CONTAINING HYDROGEN FLUORIDE
(FR) COMPOSITIONS SOLVANTES FLUOREES CONTENANT DU FLUORURE D"HYDROGENE
Abrégé : front page image
(EN)Homogeneous compositions containing a fluorinated solvent, hydrogen fluoride, and a co-solvent, and the use of these compositions for cleaning and etching of substrated are described.
(FR)L"invention concerne des compositions homogènes contenant un solvant fluoré, du fluorure d"hydrogène, et un co-solvant, ainsi que l"utilisation de ces compositions pour l"épuration et la gravure de substrats.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, CA, CH, CN, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NO, NZ, PL, PT, RO, RU, SD, SE, SG, SI, SK, SL, TJ, TM, TR, TT, TZ, UA, UG, UZ, VN, YU, ZA, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)