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PATENTSCOPE

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1. (WO2001075617) INTEGRATION D'UN CAPTEUR PRET-A-L'EMPLOI POUR UN MODULE DE TRAITEMENT
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication : WO/2001/075617 N° de la demande internationale : PCT/US2001/008719
Date de publication : 11.10.2001 Date de dépôt international : 19.03.2001
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 : 25.09.2001
CIB :
G06F 13/40 (2006.01)
Déposants : LAM RESEARCH CORPORATION[US/US]; 4650 Cushing Parkway Fremont, CA 94538-6470, US
Inventeurs : HUANG, Chung-Ho; US
HEMKER, David, J.; US
LUI, Andrew; US
Mandataire : OLYNICK, Mary, R.; Beyer Weaver & Thomas, LLP 2030 Addison Street 7th Floor Berkeley, CA 94704, US
Données relatives à la priorité :
09/539,31330.03.2000US
Titre (EN) PLUG AND PLAY SENSOR INTEGRATION FOR A PROCESS MODULE
(FR) INTEGRATION D'UN CAPTEUR PRET-A-L'EMPLOI POUR UN MODULE DE TRAITEMENT
Abrégé : front page image
(EN) A process chamber with a computer system that controls the process chamber is connected to one or more sensors, which are used to monitor the process in the process chamber. The sensors are connected to the computer system in a client/server relationship, in a way that allows the sensors to be hot swappable plus and play sensors. The computer system exchanges various messages with the sensors, synchronizes with the sensors, and integrates and utilizes data sent from the sensors.
(FR) L'invention porte sur une chambre de traitement dotée d'un système informatique qui pilote cette chambre, cette dernière étant reliée à un ou plusieurs capteurs qui sont utilisés pour surveiller le traitement dans la chambre. Les capteurs sont raccordés au système informatique dans une relation client/serveur de sorte que les capteurs prêt-à-l'emploi puissent être remplacés à chaud. Le système informatique échange divers messages avec les capteurs, les synchronise et intègre et utilise les données émises par les capteurs.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NO, NZ, PL, PT, RO, RU, SD, SE, SG, SI, SK, SL, TJ, TM, TR, TT, TZ, UA, UG, UZ, VN, YU, ZA, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)