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1. (WO2001074707) ACTIONNEURS ELECTROSTATIQUES DU TYPE PEIGNE DE COMMANDE VERTICAL AUTO-ALIGNE MULTICOUCHE ET PROCEDES DE FABRICATION CORRESPONDANTS
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication : WO/2001/074707 N° de la demande internationale : PCT/US2001/009261
Date de publication : 11.10.2001 Date de dépôt international : 22.03.2001
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 : 19.10.2001
CIB :
B81B 3/00 (2006.01) ,G02B 6/35 (2006.01) ,G02B 26/08 (2006.01) ,H02N 1/00 (2006.01)
Déposants : ONIX MICROSYSTEMS, INC.[US/US]; 4138 Lakeside Drive Richmond, CA 94806, US
Inventeurs : BEHIN, Behrang; US
PANNU, Satinderpall, S.; US
Mandataire : RITCHIE, David, B. ; Thelen Reid & Priest LLP P.O. Box 640640 San Jose, CA 95164-0640, US
Données relatives à la priorité :
60/192,09724.03.2000US
Titre (EN) MULTI-LAYER, SELF-ALIGNED VERTICAL COMB-DRIVE ELECTROSTATIC ACTUATORS AND FABRICATION METHODS
(FR) ACTIONNEURS ELECTROSTATIQUES DU TYPE PEIGNE DE COMMANDE VERTICAL AUTO-ALIGNE MULTICOUCHE ET PROCEDES DE FABRICATION CORRESPONDANTS
Abrégé : front page image
(EN) A method of fabricating multi-layer vertical comb-drive actuator that includes a first comb structure having a plurality of first comb fingers (115) and a second comb structure having a plurality of second comb fingers (117), wherein the first and second comb fingers are substantially interdigitated. The present invention includes masking and etching of a structure that contains these multiple layers, wherein the first (115) and second (117) comb fingers are simultaneously fabricated. The first and second comb fingers may include two or more stacked conductive layers electrically isolated from each other by an insulating layer or an air gap. Alternatively, either the first or second comb fingers may include only one conductive layer.
(FR) L'invention concerne un procédé de fabrication d'un actionneur du type peigne de commande vertical multicouche comprenant une première structure en peigne constituée d'une pluralité de premières dents et une seconde structure en peigne constituée d'une pluralité de secondes dents. Ledit actionneur est caractérisé en ce que lesdites premières et secondes dents de peigne sont sensiblement interdigitées. Le procédé selon la présente invention consiste à masquer et à attaquer une structure comprenant plusieurs couches, les premières et secondes dents de peigne étant fabriquées simultanément. Les premières et secondes dents de peigne peuvent comprendre au moins deux couches conductrices superposées, isolées électriquement l'une de l'autre par une couche d'isolante ou un entrefer. Selon un autre mode de réalisation, les premières dents de peigne ou les secondes ne comprennent qu'une seule couche conductrice.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NO, NZ, PL, PT, RO, RU, SD, SE, SG, SI, SK, SL, TJ, TM, TR, TT, TZ, UA, UG, UZ, VN, YU, ZA, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)