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1. WO2001074706 - ENSEMBLES DE RESISTANCES COMPRENANT DES CONTACTS DE COMMUTATION COMMANDES PAR DES ACTIONNEURS MICROELECTROMECANIQUES ET PROCEDES PERMETTANT DE FABRIQUER LES MEMES

Numéro de publication WO/2001/074706
Date de publication 11.10.2001
N° de la demande internationale PCT/IB2001/000541
Date du dépôt international 02.04.2001
CIB
B81B 3/00 2006.01
BTECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
81TECHNOLOGIE DES MICROSTRUCTURES
BDISPOSITIFS OU SYSTÈMES À MICROSTRUCTURE, p.ex. DISPOSITIFS MICROMÉCANIQUES
3Dispositifs comportant des éléments flexibles ou déformables, p.ex. comportant des membranes ou des lamelles élastiques
B81B 7/02 2006.01
BTECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
81TECHNOLOGIE DES MICROSTRUCTURES
BDISPOSITIFS OU SYSTÈMES À MICROSTRUCTURE, p.ex. DISPOSITIFS MICROMÉCANIQUES
7Systèmes à microstructure
02comportant des dispositifs électriques ou optiques distincts dont la fonction a une importance particulière, p.ex. systèmes micro-électromécaniques (SMEM, MEMS)
H01H 1/00 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
HINTERRUPTEURS ÉLECTRIQUES; RELAIS; SÉLECTEURS; DISPOSITIFS DE PROTECTION
1Contacts
H01H 61/00 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
HINTERRUPTEURS ÉLECTRIQUES; RELAIS; SÉLECTEURS; DISPOSITIFS DE PROTECTION
61Relais électrothermiques
CPC
H01G 5/18
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
GCAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES OR LIGHT-SENSITIVE DEVICES, OF THE ELECTROLYTIC TYPE
5Capacitors in which the capacitance is varied by mechanical means, e.g. by turning a shaft; Processes of their manufacture
16using variation of distance between electrodes
18due to change in inclination, e.g. by flexing, by spiral wrapping
H01H 1/0036
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
HELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
1Contacts
0036Switches making use of microelectromechanical systems [MEMS] ;
H01H 2001/0063
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
HELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
1Contacts
0036Switches making use of microelectromechanical systems [MEMS] ;
0063having electrostatic latches, i.e. the activated position is kept by electrostatic forces other than the activation force
H01H 2061/006
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
HELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
61Electrothermal relays
006Micromechanical thermal relay
H01H 61/00
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
HELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
61Electrothermal relays
Déposants
  • JDS UNIPHASE CORPORATION [US]/[US] (AllExceptUS)
  • WOOD, Robert, L. [US]/[US] (UsOnly)
Inventeurs
  • WOOD, Robert, L.
Mandataires
  • TEITELBAUM, Neil
Données relatives à la priorité
09/542,14205.04.2000US
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) RESISTOR ARRAY DEVICES INCLUDING SWITCH CONTACTS OPERATED BY MICROELECTROMECHANICAL ACTUATORS AND METHODS FOR FABRICATING THE SAME
(FR) ENSEMBLES DE RESISTANCES COMPRENANT DES CONTACTS DE COMMUTATION COMMANDES PAR DES ACTIONNEURS MICROELECTROMECANIQUES ET PROCEDES PERMETTANT DE FABRIQUER LES MEMES
Abrégé
(EN)
Resistor Networks, digital potentiometers and microelectromechanical structures that include a plurality of resistors selectable by a plurality of microelectromechanical acquators are provided. More particularly, a thermal relay type of actuator is provided as a switch which may selectively control which of the plurality of resistors is connected. In one particularly advantageous embodiment, the heater for the thermal relay and the plurality of resistors are formed from a common layer of the integrated circuit structure, such as a doped polysilicon layer, which may simplify the manufacturing process. Preferably, a thermal arched beam acuator is utilized in combination with film resistors to provide an integrated circuit device suitable for applicaitons such as digital potentiometers.
(FR)
L'invention concerne des réseaux de résistances, des potentiomètres numériques et des structures microélectromécaniques comportant plusieurs résistances que l'on peut sélectionner au moyen de plusieurs actionneurs microélectromécaniques. En particulier, un type de relais thermique d'actionneur sert de commutateur qui peut commander de manière sélective la résistance qui doit être connectée. Selon l'un des modes de réalisation de la présente invention, l'appareil de chauffage du relais thermique et les nombreuses résistances sont composées à partir d'une couche commune de structure de circuit intégré, telle qu'une couche de polysilicone dopée, pouvant simplifier le processus de fabrication. Un actionneur à faisceau arqué thermique sera utilisé de préférence en combinaison avec les résistances de couche, afin de fournir un dispositif de circuit intégré, adapté à des applications telles que des potentiomètres numériques.
Également publié en tant que
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