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1. (WO2001073934) ACTIONNEURS VERTICAUX MULTICOUCHES AUTO-ALIGNES ET ELECTROSTATIQUES A COMMANDE EN PEIGNE, ET PROCEDES DE FABRICATION
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication : WO/2001/073934 N° de la demande internationale : PCT/US2001/009462
Date de publication : 04.10.2001 Date de dépôt international : 23.03.2001
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 : 19.10.2001
CIB :
B81B 3/00 (2006.01) ,G02B 6/35 (2006.01) ,G02B 26/08 (2006.01) ,H02N 1/00 (2006.01)
Déposants : ONIX MICROSYSTEMS, INC.[US/US]; 4138 Lakeside Drive Richmond, CA 94806, US
Inventeurs : BEHIN, Behrang; US
PANNU, Satinderpall, S.; US
Mandataire : RITCHIE, David, B. ; Thelen Reid & Priest, LLP P.O. Box 640640 San Jose, CA 95164-0640, US
Données relatives à la priorité :
60/192,09724.03.2000US
Titre (EN) MULTI-LAYER, SELF-ALIGNED VERTICAL COMB-DRIVE ELECTROSTATIC ACTUATORS AND FABRICATION METHODS
(FR) ACTIONNEURS VERTICAUX MULTICOUCHES AUTO-ALIGNES ET ELECTROSTATIQUES A COMMANDE EN PEIGNE, ET PROCEDES DE FABRICATION
Abrégé : front page image
(EN) A multi-layer vertical comb-drive actuator includes a first comb structure having a plurality of first comb fingers (14) and a second comb structure having a plurality of second comb fingers (24), wherein the first and second comb fingers are substantially interdigitated. The first and second comb fingers may include two or more stacked conductive layers electrically isolated from each other by an insulating layer or an air gap. Alternatively, either the first or second comb fingers may include only one conductive layer. An application of a voltage (15) between the first and second comb fingers causes the second comb structure to move relative to the first comb structure. The present invention includes a 2D-gimble configuration to rotate a movable element along two axes.
(FR) L'invention concerne un actionneur vertical multicouche à commande en peigne, qui comprend une première structure en peigne dotée d'un premier ensemble de dents et une seconde structure en peigne dotée d'un second ensemble de dents, les dents étant relativement espacées. Le premier et le second ensemble de dents peuvent comprendre au moins deux couches conductrices empilées, électriquement isolées l'une de l'autre par une couche d'isolation ou un écart. Le premier ou le second ensemble de dents peut éventuellement comporter une seule couche conductrice. L'application d'une tension entre les deux ensembles de dents entraîne le second ensemble à se déplacer par rapport au premier. L'invention concerne également une configuration bidimensionnelle à la cardan destinée à faire tourner un élément mobile le long de deux axes.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NO, NZ, PL, PT, RO, RU, SD, SE, SG, SI, SK, SL, TJ, TM, TR, TT, TZ, UA, UG, UZ, VN, YU, ZA, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)