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1. (WO2001022468) MICROACTIONNEUR SANS RECUL A GRANDE LARGEUR DE BANDE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2001/022468    N° de la demande internationale :    PCT/US2000/025600
Date de publication : 29.03.2001 Date de dépôt international : 19.09.2000
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    18.04.2001    
CIB :
B81B 3/00 (2006.01), G01B 11/03 (2006.01), G01B 9/04 (2006.01), G01Q 20/04 (2010.01), H01J 37/26 (2006.01), H01J 49/00 (2006.01), H01L 41/08 (2006.01), H01L 41/09 (2006.01), H02N 2/00 (2006.01)
Déposants : VEECO INSTRUMENTS, INC. [US/US]; Terminal Drive, Plainview, NY 11803 (US)
Inventeurs : CLEVELAND, Jason, P.; (US).
GRIGG, David; (US)
Mandataire : NILLES, Andrew, J.; Nilles & Nilles, S.C., Firststar Center, Suite 2000, 777 East Wisconsin Avenue, Milwaukee, WI 53202 (US)
Données relatives à la priorité :
09/399,388 20.09.1999 US
Titre (EN) HIGH BANDWIDTH RECOILESS MICROACTUATOR
(FR) MICROACTIONNEUR SANS RECUL A GRANDE LARGEUR DE BANDE
Abrégé : front page image
(EN)An atomic force microscope (2) is comprised of a microactuator (14) for preventing the transfer of any net forces from the microactuator (14) to a support structure (22). The net force transfer prevention can be achieved using either a multi-actuator assembly (230) including a primary microactuator (234) and a counteracting actuator (236) operating substantially out-of-phase with respect to the primary microactuator (234), or a single microactuator (332) mounted on the microactuator's support structure (314) to prevent momentum transfer to the support structure (22) during microactuator (14) operation.
(FR)L'invention concerne un microscope (2) à force atomique constitué d'un microactionneur (14) destiné à empêcher le transfert de toute force nette du microactionneur (14) à une structure (22) de support. On parvient à empêcher le transfert de forces nettes à l'aide soit d'un ensemble (230) à actionneurs multiples comprenant un microactionneur primaire (234) et un actionneur de réaction (236) fonctionnant sensiblement en décalage de phase par rapport au microactionneur primaire (234), soit d'un seul microactionneur (332) monté sur la structure (314) de support du microactionneur pour empêcher le transfert de quantité de mouvement vers la structure (22) de support lors du fonctionnement du microactionneur (14).
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NO, NZ, PL, PT, RO, RU, SD, SE, SG, SI, SK, SL, TJ, TM, TR, TT, TZ, UA, UG, UZ, VN, YU, ZA, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)