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1. (WO2001022060) PROCEDE OPTIQUE POUR LA CARACTERISATION DE SYSTEMES PARTICULAIRES ET DISPOSITIF POUR LA MISE EN OEUVRE DE CE PROCEDE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2001/022060    N° de la demande internationale :    PCT/EP2000/007937
Date de publication : 29.03.2001 Date de dépôt international : 15.08.2000
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    26.03.2001    
CIB :
G01J 3/44 (2006.01), G01N 21/53 (2006.01), G01N 21/65 (2006.01)
Déposants : APSYS ADVANCED PARTICLE SYSTEMS GMBH [DE/DE]; Ostendstr. 25, 12459 Berlin (DE) (Tous Sauf US).
VALET, Oliver, K. [DE/DE]; (DE) (US Seulement).
GÜNTHER, Peter, A. [DE/DE]; (DE) (US Seulement)
Inventeurs : VALET, Oliver, K.; (DE).
GÜNTHER, Peter, A.; (DE)
Mandataire : EISENFÜHR, SPEISER & PARTNER; Pacelliallee 43/45, 14195 Berlin (DE)
Données relatives à la priorité :
199 46 110.4 17.09.1999 DE
Titre (DE) OPTISCHES VERFAHREN ZUR CHARAKTERISIERUNG PARTIKULÄRER SYSTEME UND VORRICHTUNG ZUR DURCHFÜHRUNG DES VERFAHRENS
(EN) OPTICAL METHOD FOR CHARACTERIZATION OF PARTICULATE SYSTEMS AND DEVICE FOR CARRYING OUT SAID METHOD
(FR) PROCEDE OPTIQUE POUR LA CARACTERISATION DE SYSTEMES PARTICULAIRES ET DISPOSITIF POUR LA MISE EN OEUVRE DE CE PROCEDE
Abrégé : front page image
(DE)Die Erfindung betrifft ein optisches Verfahren und eine zugehörige Vorrichtung zur Charakterisierung partikulärer Systeme, mit dem die in einem partikulären System, z.B. einem Reinraum, vorhandenen Partikel mengen- und grössenmässig erfasst und gleichzeitig eine Aussage über die Identität der Teilchen getroffen werden kann. Erfindungsgemäss wird ein Luftstrom aus der Umgebungsluft mit definierter Geschwindigkeit durch einen Partikel-Feeder an einer ersten Streulichtmesseinheit vorbeigeführt und das Streulicht detektiert, die Geschwindigkeit des Partikels anschliessend reduziert und das mit der reduzierten Geschwindigkeit bewegte Partikel in dem Luftstrom in einer Identifizierungseinheit mittels Wechselwirkung mit monochromatischem Licht identifiziert. Die Identifizierung der Partikel erfolgt erfindungsgemäss durch kombinierte Laser-Raman-Spektroskopie, die bei kurzer Belichtungszeit durch den Einsatz leistungsstarker Lichtquellen, lichtstarker Optiken sowie insbesondere durch den Verzicht auf hohe optische Auflösungen für die automatisierte Auswertung brauchbare Ergebnisse zur Verfügung stellt. Es wird die geringe spektrale Auflösung vorteilhaft genutzt.
(EN)The invention relates to an optical method and a relevant device for characterization of particulate systems, whereby the found particle amounts and sizes are measured for a particulate system e.g. a clean room and information about the identity of the found particles is given. According to the invention, a stream of air taken from the environment is passed at a defined velocity through a particle feeder to a light scattering device. The scattered light is then measured, the velocity of the particles reduced and particles moving in the air stream at reduced velocity introduced into an identification unit, where they are identified by their interaction with monochromatic light. According to the invention, the particles are identified by means of combined Laser Raman Spectroscopy, which provides results useful for automatic evaluation by having a short illumination time through applying powerful light sources, high intensity optics and particularly by avoiding high optical resolution. Low spectral resolution is used in an advantageous manner.
(FR)L'invention concerne un procédé optique et un dispositif correspondant pour la caractérisation de systèmes particulaires, au moyen duquel les particules présentes dans un système particulaire, par exemple, un espace stérile, peuvent être détectées quantitativement et numériquement, tout en permettant en même temps d'obtenir des informations sur l'identité des particules. L'invention est caractérisée en ce qu'un courant d'air provenant de l'environnement est envoyé, à une vitesse déterminée, à travers un chargeur de particules, sur une première unité de mesure de la lumière dispersée, et détecte la lumière dispersée, la vitesse des particules est ensuite réduite, et les particules déplacées à vitesse réduite dans le courant d'air sont identifiées dans une première unité d'identification, par interaction en lumière monochromatique. L'identification des particules s'effectue, conformément à l'invention, par spectroscopie combinée laser-Raman, laquelle fournit des résultats utilisables pour l'évaluation automatisée, ceci pour une courte durée d'exposition, par utilisation de sources lumineuses puissantes, d'optiques à grande ouverture, tout en évitant, notamment, des résolutions optiques élevées. Une résolution spectrale faible est utilisée avantageusement.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CR, CU, CZ, DK, DM, DZ, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NO, NZ, PL, PT, RO, RU, SD, SE, SG, SI, SK, SL, TJ, TM, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VN, YU, ZA, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)