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1. (WO2001020399) PROTECTION CONTRE LES EXCITATIONS EXTERIEURES LORS DE LA MESURE DE MEMBRANES OSCILLANTES DE SEMICONDUCTEUR
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2001/020399    N° de la demande internationale :    PCT/EP2000/008791
Date de publication : 22.03.2001 Date de dépôt international : 08.09.2000
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    27.03.2001    
CIB :
G03F 1/00 (2012.01), H01L 21/027 (2006.01)
Déposants : LEICA MICROSYSTEMS SEMICONDUCTOR GMBH [DE/DE]; Ernst-Leitz-Strasse 17-37, 35578 Wetzlar (DE) (Tous Sauf US).
STACH, Gerd [DE/DE]; (DE) (US Seulement).
STRUCK, Thomas [DE/DE]; (DE) (US Seulement)
Inventeurs : STACH, Gerd; (DE).
STRUCK, Thomas; (DE)
Mandataire : SCHMUCKERMAIER, Bernhard; Westphal, Mussgnug & Partner, Mozartstrasse 8, 80336 München (DE)
Données relatives à la priorité :
199 44 474.9 16.09.1999 DE
Titre (DE) ABSCHIRMUNG ÄUSSERER ANREGUNGEN BEI DER VERMESSUNG SCHWINGUNGSFÄHIGER HALBLEITERMEMBRANEN
(EN) SHIELDING AGAINST EXTERNAL EXCITATIONS WHILE MEASURING OSCILLATORY SEMICONDUCTOR MEMBRANES
(FR) PROTECTION CONTRE LES EXCITATIONS EXTERIEURES LORS DE LA MESURE DE MEMBRANES OSCILLANTES DE SEMICONDUCTEUR
Abrégé : front page image
(DE)Beschrieben wird ein Verfahren zum optischen Vermessen einer schwingungsfähigen und vorzugsweise strukturierten Membran (4) in einer Gasströmungen und/oder akustischen Anregungen ausgesetzten Umgebung, in der eine Vorrichtung zum Vermessen der Membran auf diese fokussiert wird. Die Erfindung zeichnet sich dadurch aus, daß eine optisch transparente Folie bereitgestellt wird und die Folie (5) und die Membran so angeordnet werden, daß die Gasströmungen und/oder die akustischen Anregungen die Membran nur durch die Folie hindurch erreichen. Mit Hilfe der Folie lassen sich äußere Luftbewegungen une dadurch auch Schwingungen der Membran dämpfen, so daß die Membran präzise vermessen werden kann.
(EN)The invention relates to a method for optically measuring an oscillatory and preferably structured membrane (4) in an environment which is subjected to gas flows and/or acoustic excitations, and in which a device for measuring the membrane is focused on the same. The invention is characterized in that an optically transparent film is provided, and the film (5) and the membrane are arranged in such a manner that the gas flows and/or the acoustic excitations reach the membrane only by passing through the film. The film enables a diminishing of the external air movements and thus oscillations of the membrane so that the membrane can be precisely measured.
(FR)L'invention concerne un procédé pour mesurer par voie optique une membrane (4) oscillante et de préférence structurée, dans un environnement exposé à des écoulements gazeux et/ou à des excitations acoustiques. Un dispositif de mesure servant à mesurer ladite membrane est focalisé sur cette dernière dans ledit environnement. L'invention est caractérisée en ce qu'un film (5) optiquement transparent est mis à disposition, ce film et la membrane étant placés de telle sorte que les écoulements gazeux et/ou les excitations acoustiques n'atteignent la membrane qu'à travers ledit film. Ce dernier permet d'atténuer les déplacements d'air extérieurs et par conséquent les oscillations de la membrane de sorte que cette dernière puisse être mesurée avec précision.
États désignés : JP, US.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)