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1. (WO2001020252) EXECUTION DE MESURES OPTIQUES POUR COUCHES ET CARACTERISTIQUES SUPERFICIELLES
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2001/020252    N° de la demande internationale :    PCT/US2000/025377
Date de publication : 22.03.2001 Date de dépôt international : 15.09.2000
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    12.04.2001    
CIB :
G01B 11/06 (2006.01)
Déposants : ON-LINE TECHNOLOGIES, INC. [US/US]; 87 Church Street, P.O. Box 380379, East Hartford, CT 06138-0379 (US)
Inventeurs : ROSENTHAL, Peter, A.; (US).
XU, Jiazhan; (US)
Mandataire : DORMAN, Ira, S.; Suite 200, 330 Roberts Street, East Hartford, CT 06108 (US)
Données relatives à la priorité :
60/154,266 16.09.1999 US
09/661,818 14.09.2000 US
Titre (EN) METHOD AND APPARATUS FOR PERFORMING OPTICAL MEASUREMENTS OF LAYERS AND SURFACE PROPERTIES
(FR) EXECUTION DE MESURES OPTIQUES POUR COUCHES ET CARACTERISTIQUES SUPERFICIELLES
Abrégé : front page image
(EN)The method and apparatus are capable of performing precise optical measurements of layers and surface properties (SB, SF) both transparent and also non-transparent substrates. A field stop aperture (11) in a confocal optical configuration is used to define the illumination area, and another aperture (13) is used to accept light reflected form the front (SF), or other surface, of a sample being analyzed, while blocking or rejecting the ghost reflection from the backside (SB) or other feature below the focal plane of the surface being analyzed.
(FR)La technique et le dispositif selon l'invention permettent d'exécuter des mesures précises concernant des couches et des caractéristiques superficielles (SB, SF) dans le cas de substrats transparents ou non transparents. On utilise une ouverture à diaphragme de champ (11) dans une configuration optique confocale pour laisser passer la lumière réfléchie par la surface, frontale (SF), ou autre, de l'échantillon en cours d'analyse, tout en bloquant ou en rejetant le reflet fantôme provenant du dos (SB) ou d'une autre caractéristique au dessous du plan focal de la surface en cours d'analyse.
États désignés : AE, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, CA, CH, CN, CU, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MD, MG, MK, MN, MW, MX, NO, NZ, PL, PT, RO, RU, SD, SE, SG, SI, SK, SL, TJ, TM, TR, TT, UA, UG, UZ, VN, YU, ZA, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)