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1. (WO2001018944) DISPOSITIF DE DEPLACEMENT
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2001/018944    N° de la demande internationale :    PCT/EP2000/007970
Date de publication : 15.03.2001 Date de dépôt international : 15.08.2000
CIB :
G03F 7/20 (2006.01), H02K 41/03 (2006.01)
Déposants : KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V. [NL/NL]; Groenewoudseweg 1, NL-5621 BA Eindhoven (NL).
ASM LITHOGRAPHY B.V. [NL/NL]; De Run 1110, NL-5503 LA Veldhoven (NL)
Inventeurs : FRISSEN, Petrus, C., M.; (NL).
COMPTER, Johan, C.; (NL).
PEIJNENBURG, Antonius, T., A.; (NL).
LOOPSTRA, Erik, R.; (NL)
Mandataire : BOS, Kornelis, S.; Internationaal Octrooibureau B.V., Prof. Holstlaan 6, NL-5656 AA Eindhoven (NL)
Données relatives à la priorité :
99202847.2 02.09.1999 EP
Titre (EN) DISPLACEMENT DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE DEPLACEMENT
Abrégé : front page image
(EN)A positioning device comprising a first part (1) which is movable relatively to a second part (2) in an X-direction and a Y-direction, said first part (1) comprising a carrier (5) on which a system of magnets (3) is arranged according to a pattern of rows (7) and columns (8) extending parallel to the X-direction and the Y-direction, respectively. The magnets in each row and column are arranged according to a Halbach array, i.e. the magnetic orientation of successive magnets in each row (7) and each column (8) rotates 90° counter-clockwise. The second part (2) comprises an electric coil system (4) with two types of electric coils (C¿1?, C¿2?), one type having an angular offset of +45°, and the other type having an offset of -45° with respect to the X-direction. The magnet configuration causes a very strong magnetic field.
(FR)L'invention concerne un dispositif de positionnement qui comprend une première partie (1) pouvant se déplacer par rapport à une deuxième partie (2) dans une direction X et dans une direction Y, ladite première partie (1) comprenant un support (5) sur lequel est disposé un système d'aimants (3) selon un schéma de lignes (7) et de colonnes (8) qui s'étendent dans les directions X et Y, respectivement. Les aimants dans chaque ligne et colonne sont disposés selon une structure de Halbach, c'est à dire que l'orientation magnétique des aimants successifs dans chaque ligne (7) et chaque colonne (8) pivote de 90° dans le sens contraire des aiguilles d'une montre. La deuxième partie (2) comprend un système de bobines électriques (4) comportant deux types de bobines électriques (C1, C2), dont le premier est caractérisé par un décalage angulaire de + 45° alors que le second est caractérisé par un décalage angulaire de -45° par rapport à la direction X. La configuration des aimants permet de créer un champ magnétique très intense.
États désignés : JP, KR.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)