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1. (WO2001018844) PROCEDE DE TRAITEMENT METTANT EN OEUVRE UN FAISCEAU IONIQUE FOCALISE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2001/018844    N° de la demande internationale :    PCT/JP2000/005975
Date de publication : 15.03.2001 Date de dépôt international : 01.09.2000
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    09.04.2001    
CIB :
H01J 37/30 (2006.01)
Déposants : SEIKO INSTRUMENTS INC. [JP/JP]; 8, Nakase 1-chome, Mihama-ku, Chiba-shi, Chiba 261-8507 (JP) (Tous Sauf US).
NISHMURA, Tetsuji [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
FUJII, Toshiaki [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
SUGIYAMA, Yasuhiko [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : NISHMURA, Tetsuji; (JP).
FUJII, Toshiaki; (JP).
SUGIYAMA, Yasuhiko; (JP)
Mandataire : SAKANOUE, Masaaki; c/o SEIKO INSTRUMENTS INC., 8, Nakase 1-chome, Mihama-ku, Chiba-shi, Chiba 261-8507 (JP)
Données relatives à la priorité :
11/254914 08.09.1999 JP
Titre (EN) PROCESSING METHOD USING FOCUSED ION BEAM
(FR) PROCEDE DE TRAITEMENT METTANT EN OEUVRE UN FAISCEAU IONIQUE FOCALISE
Abrégé : front page image
(EN)A conventional device that has a plurality of focused ion beam lens barrels mounted in one sample room uses one lens barrel for observing and the other for processing, thereby requiring the same processing time as that for a focused ion beam device in which one focused ion beam lens barrel is mounted. A novel processing method using a focused ion beam, wherein a plurality of focused ion beam lens barrels mounted in a sample room are all used for processing, and at the same time a sample is irradiated with a focused ion beam, thereby reducing time required for processing.
(FR)Un dispositif classique qui possède une pluralité de barillets d'objectif à faisceaux ioniques focalisés montés dans une chambre à échantillon, met en oeuvre un barillet d'objectif pour l'observation et un autre pour le traitement, ce qui permet de nécessiter le même temps de traitement que celui nécessaire à un dispositif à faisceau ionique focalisé dans lequel un barillet d'objectif à faisceau ionique focalisé est monté. L'invention concerne un nouveau procédé de traitement mettant en oeuvre un faisceau ionique focalisé, selon lequel une pluralité de barillets d'objectif à faisceaux ioniques focalisés montés dans une chambre à échantillon sont mis en oeuvre en vue du traitement et en même temps un échantillon est irradié avec un faisceau ionique focalisé, ce qui permet de réduire le temps de traitement.
États désignés : KR, US.
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)