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1. (WO2001018843) MICROSCOPE A FAISCEAU ELECTRONIQUE A BALAYAGE DOTE D'UNE ELECTRODE DESTINEE A COMMANDER L'ACCUMULATION DE CHARGE PENDANT LE BALAYAGE D'UN ECHANTILLON
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2001/018843    N° de la demande internationale :    PCT/US2000/024718
Date de publication : 15.03.2001 Date de dépôt international : 07.09.2000
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    29.03.2001    
CIB :
H01J 37/02 (2006.01), H01J 37/28 (2006.01)
Déposants : KLA-TENCOR CORPORATION [US/US]; 160 Rio Robles, San Jose, CA 95134-1809 (US)
Inventeurs : MCCORD, Mark, A.; (US)
Mandataire : OLYNICK, Mary, R.; Beyer Weaver & Thomas, LLP, P.O. Box 778, Berkeley, CA 94704-0778 (US)
Données relatives à la priorité :
09/394,133 10.09.1999 US
Titre (EN) SCANNING ELECTRON BEAM MICROSCOPE HAVING AN ELECTRODE FOR CONTROLLING CHARGE BUILD UP DURING SCANNING OF A SAMPLE
(FR) MICROSCOPE A FAISCEAU ELECTRONIQUE A BALAYAGE DOTE D'UNE ELECTRODE DESTINEE A COMMANDER L'ACCUMULATION DE CHARGE PENDANT LE BALAYAGE D'UN ECHANTILLON
Abrégé : front page image
(EN)A method and apparatus for generating an image of a sample (104, 224), with an electron beam apparatus (100, 200) is disclosed. The image is generated from a portion of the sample with a measurement device having a source unit (108, 202-216) for directing an electron beam (201) substantially towards the sample (224). The measurement device also has a detector (226) for detecting particles that are emitted from the sample, an electrode (220, 500) proximal to the sample having a hole through which the electron beam and a portion of the emitted particles may pass, and an image generator (110) for generating the image of the sample from the detected particles. A first voltage is applied to the electrode when the electron beam is substantially in a center of the hole. The first voltage is selected to control positive charge build up on the sample. A second voltage is applied to the electrode when the electron beam is deflected a predetermined distance from the center of the hole. The second voltage is selected to allow a significant amount of emitted particles to reach the detector to facilitate image generation while maintaining charge control.
(FR)L'invention concerne une procédé et un appareil de production d'une image d'un échantillon (104, 224) à l'aide d'un appareil (100, 200) à faisceau électronique. L'image est produite à partir d'une partie de l'échantillon à l'aide d'un dispositif de mesure comprenant une unité source (108, 202-216) destinée à orienter un faisceau électronique (201) sensiblement vers l'échantillon (224). Le dispositif de mesure comprend également un détecteur (226) destiné à détecter des particules émises par l'échantillon, une électrode (220, 500) proche de l'échantillon présentant un trou à travers lequel le faisceau électronique et une partie des particules émises peuvent passer, ainsi qu'un générateur (110) d'images destiné à produire l'image de l'échantillon à partir des particules détectées. Une première tension est appliquée à l'électrode lorsque le faisceau électronique se trouve sensiblement au centre du trou. La première tension est sélectionnée pour commander l'accumulation de charge positive sur l'échantillon. Une seconde tension est appliquée à l'électrode lorsque le faisceau électronique est dévié d'une distance prédéterminée par rapport au centre du trou. La seconde tension est sélectionnée pour permettre à une quantité significative de particules émises d'atteindre le détecteur, afin de faciliter la production d'images tout en gardant la commande de la charge.
États désignés : JP.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)