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1. (WO2001017725) TAMPON DE POLISSAGE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2001/017725    N° de la demande internationale :    PCT/JP2000/005921
Date de publication : 15.03.2001 Date de dépôt international : 31.08.2000
CIB :
B24B 37/20 (2012.01), B24B 37/24 (2012.01), B24D 13/14 (2006.01), B24D 3/28 (2006.01), C08G 61/06 (2006.01), C08L 65/00 (2006.01), H01L 21/304 (2006.01)
Déposants : TEIJIN-METTON KABUSHIKI KAISHA [JP/JP]; 1-1, Uchisaiwaicho 2-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 100-0011 (JP) (Tous Sauf US).
YAMADA, Takeyoshi [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
YOSHIDA, Hidetsugu [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
YOSHIKIYO, Nobuo [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : YAMADA, Takeyoshi; (JP).
YOSHIDA, Hidetsugu; (JP).
YOSHIKIYO, Nobuo; (JP)
Mandataire : OHSHIMA, Masataka; Ohshima Patent Office, Fukuya Bldg., 3, Yotsuya 4-chome, Shinjuku-ku, Tokyo 160-0004 (JP)
Données relatives à la priorité :
11/248487 02.09.1999 JP
Titre (EN) POLISHING PAD
(FR) TAMPON DE POLISSAGE
Abrégé : front page image
(EN)A polishing pad for polishing the surface of a work, characterized in that (A) it comprises a resin formed by the ring-opening metathesis polymerization of a cycloolefin, and (B) the resin has a heat distortion temperature of 90 to 135°C, a modulus in compression of 980 to 2,940 MPa, and a water absorption of 0.01 to 0.25 wt.%. The polishing pad has a moderate hardness and a low water absorption, does not mar the surface of the work, and has durability.
(FR)L'invention concerne un tampon de polissage destiné au polissage d'une pièce, caractérisé (A) en ce qu'il comprend une résine formée par polymérisation par métathèse et ouverture des cycles d'une cyclooléfine, et (B) en ce que ladite résine a une température de déformation à chaud comprise en 90 et 135 °C, un module de compression compris entre 980 et 2940 MPa, et une absorption d'eau comprise entre 0,01 et 0,25 % en poids. Le tampon de polissage selon l'invention possède les caractéristiques suivantes: dureté modérée, absorption d'eau faible, durabilité. En outre, il ne raye pas la surface de la pièce.
États désignés : KR, US.
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)