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1. (WO2001016580) UTILISATION DE LUMIERE DIFFUSEE ET/OU EMISE POUR DETERMINER DES CARACTERISTIQUES INDETERMINEES, NOTAMMENT DES INFORMATIONS RELATIVES AUX DIMENSIONS, D'OBJET TEL QU'UNE PARTIE D'ECRAN PLAT

Pub. No.:    WO/2001/016580    International Application No.:    PCT/US2000/023192
Publication Date: 8 mars 2001 International Filing Date: 22 août 2000
IPC: G01B 11/02
Applicants: CANDESCENT TECHNOLOGIES CORPORATION
Inventors: FIELD, John, E.
ELLOWAY, Donald, J.
PONG, Chungdee
Title: UTILISATION DE LUMIERE DIFFUSEE ET/OU EMISE POUR DETERMINER DES CARACTERISTIQUES INDETERMINEES, NOTAMMENT DES INFORMATIONS RELATIVES AUX DIMENSIONS, D'OBJET TEL QU'UNE PARTIE D'ECRAN PLAT
Abstract:
On utilise la lumière diffusée et/ou émise pour déterminer des caractéristiques, notamment des informations relatives aux dimensions, d'un objet (60) tel qu'une partie (10) d'écran plat. Ces informations relatives aux dimensions comprennent le diamètre moyen d'ouvertures (62) présentes dans cet objet, la densité moyenne de ces ouvertures, et l'épaisseur moyenne d'une couche (64) de cet objet. On produit des diagrammes de diffraction de façon à déterminer des caractéristiques, telles que des anomalies (146, 148) dans les lignes transversales (140, 142) de cet objet.