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1. (WO2001016559) PROCEDE ET DISPOSITIF POUR DETERMINER LE GAUCHISSEMENT D'UNE TRANCHE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2001/016559    N° de la demande internationale :    PCT/EP2000/007920
Date de publication : 08.03.2001 Date de dépôt international : 14.08.2000
CIB :
G01B 5/00 (2006.01), G01B 11/30 (2006.01), G01B 21/30 (2006.01)
Déposants : KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V. [NL/NL]; Groenewoudseweg 1, NL-5621 BA Eindhoven (NL)
Inventeurs : SCHOBER, Joachim; (NL)
Mandataire : WEBER, Helmut; Internationaal Octrooibureau B.V., Prof. Holstlaan 6, NL-5656 AA Eindhoven (NL)
Données relatives à la priorité :
99890278.7 31.08.1999 EP
Titre (EN) METHOD OF AND DEVICE FOR DETERMINING THE WARPAGE OF A WAFER
(FR) PROCEDE ET DISPOSITIF POUR DETERMINER LE GAUCHISSEMENT D'UNE TRANCHE
Abrégé : front page image
(EN)In a device (1) for determining deviations of a nominally planar surface (2) of a thin and, in essence, circular disk-shaped object (3), such as a wafer, relative to a reference plane (4), support means (6) comprising three support members (11, 12, 13) are provided for supporting the object (3) and detection means (20) for detecting these deviations, while the three support members (11, 12, 13) take up a position relative to each other so that each support member (11, 12, 13) is located underneath the point of gravity (26, 27, 28) of a circular sector (29, 30, 31) of the object (3) extending over an angular range of 120°.
(FR)L'invention concerne un dispositif (1) pour déterminer les écarts d'une surface nominale plane (2) d'un objet en forme de disque circulaire (3) et mince, comme une tranche, par rapport à un plan de référence (4). Ce dispositif comprend des moyens de support (6) comportant trois éléments de support (11, 12, 13) pour supporter l'objet (3) et des moyens de détection (20) pour détecter ces écarts. Ces trois éléments de support (11, 12, 13) adoptent une position les uns par rapport aux autres telle que chaque élément de support (11, 12, 13) est placé sous le point de gravité (26, 27, 28) d'un secteur circulaire (29, 30, 31) de l'objet (3) s'étendant sur une plage angulaire de 120°.
États désignés : JP, KR.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)