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1. (WO2001016407) DISPOSITIF PERMETTANT DE SUPPORTER UN LINGOT PENDANT LE TIRAGE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2001/016407    N° de la demande internationale :    PCT/US2000/021750
Date de publication : 08.03.2001 Date de dépôt international : 09.08.2000
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    06.02.2001    
CIB :
C30B 15/32 (2006.01), C30B 15/36 (2006.01)
Déposants : MEMC ELECTRONIC MATERIALS, INC. [US/US]; 501 Pearl Drive, P.O. Box 8, Mail Zone MZ 33, St. Peters, MO 63376 (US)
Inventeurs : CHERKO, Carl, F.; (US)
Mandataire : HEJLEK, Edward, J.; Senniger, Powers, Leavitt & Roedel, One Metropolitan Square, 16th floor, St. Louis, MO 63102 (US)
Données relatives à la priorité :
09/386,979 31.08.1999 US
Titre (EN) APPARATUS FOR SUPPORTING A SEMICONDUCTOR INGOT DURING GROWTH
(FR) DISPOSITIF PERMETTANT DE SUPPORTER UN LINGOT PENDANT LE TIRAGE
Abrégé : front page image
(EN)A device for supporting a semiconductor ingot during growth of the ingot. The device includes a chuck (23) in which is mounted a seed. The seed (17) includes an elongate rod having one end projecting from the chuck for growth of the ingot thereon. A latch pin (57) secures the seed in the chuck in a removable manner. The chuck is suspended in a semiconductor furnace. The chuck, seed and latch pin are interengaged in a manner to reduce forming flaws in the ingot.
(FR)L'invention concerne un dispositif permettant de supporter un lingot de semiconducteur pendant le tirage de ce lingot. Ce dispositif comprend un mandrin (23) dans lequel est monté un germe. Ce germe (17) comprend une tige allongée dont une extrémité dépasse du mandrin et sert de support au lingot pendant le tirage de celui-ci. Une goupille (57) de verrouillage permet de fixer de manière amovible le germe dans le mandrin. Le mandrin est suspendu dans un four à semiconducteur. Le mandrin, le germe et la goupille de verrouillage sont interconnectés d'une manière permettant de réduire la formation de défauts dans le lingot.
États désignés : CN, JP, KR, SG.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)