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1. (WO2001011665) DISPOSITIF OPTIQUE D'ILLUMINATION, DISPOSITIF D'EXPOSITION, CONTENANT D'ELEMENT OPTIQUE, PROCEDE D'ASSEMBLAGE DE DISPOSITIF D'EXPOSITION, PROCEDE D'EVALUATION DE MATERIAU, ET PROCEDE ET DISPOSITIF D'EVALUATION DE FILTRE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2001/011665    N° de la demande internationale :    PCT/JP2000/005245
Date de publication : 15.02.2001 Date de dépôt international : 04.08.2000
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    05.03.2001    
CIB :
G03F 7/20 (2006.01)
Déposants : NIKON CORPORATION [JP/JP]; 2-3, Marunouchi 3-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 100-8331 (JP) (Tous Sauf US).
OSHIKAWA, Satoru [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : OSHIKAWA, Satoru; (JP)
Mandataire : SHIGA, Masatake; OR Building, 23-3, Takadanobaba 3-chome, Shinjuku-ku, Tokyo 169-8925 (JP)
Données relatives à la priorité :
11/223142 05.08.1999 JP
Titre (EN) OPTICAL DEVICE FOR ILLUMINATION, EXPOSURE DEVICE, CONTAINER OF OPTICAL PART, METHOD OF ASSEMBLING EXPOSURE DEVICE, METHOD OF EVALUATING MATERIAL, AND METHOD AND DEVICE FOR EVALUATING FILTER
(FR) DISPOSITIF OPTIQUE D'ILLUMINATION, DISPOSITIF D'EXPOSITION, CONTENANT D'ELEMENT OPTIQUE, PROCEDE D'ASSEMBLAGE DE DISPOSITIF D'EXPOSITION, PROCEDE D'EVALUATION DE MATERIAU, ET PROCEDE ET DISPOSITIF D'EVALUATION DE FILTRE
Abrégé : front page image
(EN)An optical device for illumination includes a first space (SP1) surrounding an optical path of an energy beam for irradiating an object, a second space (SP2) surrounding the first space (SP1), and a third space (SP3) surrounding the second space (SP2). The first to third spaces (SP1, SP2, SP3) are controlled to have different target doping concentrations. A source of contamination such as an actuator can thus be isolated to maintain the space surrounding the optical path chemically clean.
(FR)L'invention concerne un dispositif optique d'illumination comprenant un premier espace (SP1) qui entoure le trajet optique d'un faisceau d'énergie visant à illuminer un objet, un deuxième espace (SP2) qui entoure le premier espace (SP1), et un troisième espace (SP3) qui entoure le deuxième espace (SP2). Les premier et troisième espaces (SP1, SP2, SP3) sont commandés de manière à présenter différentes concentrations de dopage de cible. Une source de contamination du type actionneur peut donc être isolée dans le but de maintenir chimiquement propre l'espace entourant le trajet optique.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NO, NZ, PL, PT, RO, RU, SD, SE, SG, SI, SK, SL, TJ, TM, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VN, YU, ZA, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)