WIPO logo
Mobile | Deutsch | English | Español | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Recherche dans les collections de brevets nationales et internationales
World Intellectual Property Organization
Recherche
 
Options de navigation
 
Traduction
 
Options
 
Quoi de neuf
 
Connexion
 
Aide
 
Traduction automatique
1. (WO2001008783) REDUCTION DES GAZ DANGEREUX DANS UN EFFLUENT
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2001/008783    N° de la demande internationale :    PCT/US2000/020371
Date de publication : 08.02.2001 Date de dépôt international : 26.07.2000
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    08.02.2001    
CIB :
B01D 53/68 (2006.01), B01D 53/70 (2006.01), B01D 53/74 (2006.01), B01D 53/86 (2006.01), B01J 19/08 (2006.01), B01J 19/12 (2006.01)
Déposants : APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; P.O. Box 450 A, Santa Clara, CA 95052 (US)
Inventeurs : SHAMOUILIAN, Shamouil; (US).
KAUSHAL, Tony, S.; (US)
Mandataire : BERNADICOU, Michael, A.; Blakely, Sokoloff, Taylor & Zafman LLP, 7th Floor, 12400 Wilshire Boulevard, Los Angeles, CA 90025 (US)
Données relatives à la priorité :
09/363,250 28.07.1999 US
Titre (EN) PROCESS AND APPARATUS FOR TREATMENT OF HAZARDOUS GASES IN EFFLUENT
(FR) REDUCTION DES GAZ DANGEREUX DANS UN EFFLUENT
Abrégé : front page image
(EN)An apparatus and method for reducing hazardous gases exhausted from a process chamber (25) includes an effluent plasma reactor (210) and optionally a downstream catalytic reactor (220). The reactor (210) may include a consumable liner that reacts with the energized effluent to remove the hazardous gases. The catalytic reactor (220) may also include catalytic surfaces (227) in a honeycomb, foam, or pellet structure (225) to catalyze reactions that further reduce hazardous gas content.
(FR)L'invention concerne un appareil et un procédé de réduction des gaz dangereux s'échappant d'une chambre de traitement (25) renfermant un réacteur à effluent de plasma (210) et un réacteur catalytique en aval (220). Le réacteur (210) peut être équipé d'un revêtement consommable réagissant avec l'effluent alimenté pour éliminer les gaz dangereux. Le réacteur catalytique (220) peut aussi comprendre des surfaces catalytiques (227) dans une structure alvéolaire, sous forme de mousse ou de pastilles (225) de manière à catalyser les réactions qui réduiront par la suite la teneur en gaz dangereux.
États désignés : JP, KR.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)