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1. (WO2001007883) TRANSDUCTEUR CAPACITIF DE PRESSION DOTE D'UN SUPPORT D'ELECTRODE AMELIORE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2001/007883    N° de la demande internationale :    PCT/US2000/019177
Date de publication : 01.02.2001 Date de dépôt international : 14.07.2000
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    19.01.2001    
CIB :
G01L 9/00 (2006.01)
Déposants : MKS INSTRUMENTS, INC. [US/US]; Six Shattuck Road, Andover, MA 01810 (US)
Inventeurs : LISCHER, D., Jeffrey; (US).
BLANKENSHIP, Steven, D.; (US)
Mandataire : GOLDENBERG, Richard, A.; Hale and Dorr L.L.P., 60 State Street, Boston, MA 02109 (US)
Données relatives à la priorité :
09/360,308 23.07.1999 US
Titre (EN) CAPACITIVE PRESSURE TRANSDUCER WITH IMPROVED ELECTRODE SUPPORT
(FR) TRANSDUCTEUR CAPACITIF DE PRESSION DOTE D'UN SUPPORT D'ELECTRODE AMELIORE
Abrégé : front page image
(EN)The pressure transducer includes a body (240), a diaphragm (112), an insulator (130) with a conductor, a wave washer (170), and a compliant ring (274). The ring (274) has a ratio of thickness to cross sectional width greater than one for a good thermal or temperature stability or behaviour and rests in an annular groove. Body (240) is of stainless steel or Inconel. Insulator (130) is of ceramic like Alumina or Fosterite. The thermal coefficients of expansion of the body (240) and the insulator (130) are chosen properly. The functioning of ring (274) is explained in depth.
(FR)L'invention concerne un transducteur de pression qui comporte un corps (240), un diaphragme (112), un isolateur (130) doté d'un conducteur, une rondelle ondulée (170) et un anneau adapté (274). Cet anneau (274), qui présente un ratio épaisseur-largeur transversale supérieur à 1 afin d'assurer une bonne stabilité thermique ou un bon comportement thermique, est logé dans une gorge circulaire. Le corps (240) est en acier inoxydable ou d'inconel. L'isolateur (130) est en alumine ou en fosterite du type céramique. Les coefficients thermiques d'expansion du corps (240) et de l'isolateur (130) sont choisis de façon appropriée. Le fonctionnement de l'anneau (274) est expliqué de façon détaillée.
États désignés : JP.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)