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1. (WO2001006220) BASE SUPPORT DE CAPTEUR DE PRESSION, DOTEE D'UNE CAVITE

Pub. No.:    WO/2001/006220    International Application No.:    PCT/US2000/019377
Publication Date: 25 janv. 2001 International Filing Date: 14 juil. 2000
IPC: G01L 9/00
Applicants: ALLIEDSIGNAL INC.
Inventors: ZUE, Liang, A.
BERNOT, Anthony, J.
Title: BASE SUPPORT DE CAPTEUR DE PRESSION, DOTEE D'UNE CAVITE
Abstract:
Cette capsule de capteur de pression capacitif comprend une base (36) support dotée d'une cavité, et elle comprend un logement comportant un couvercle (24) de céramique fixé par scellement sur une base (36) de céramique, de manière à définir une chambre intérieure. La base possède une cavité faisant face à la chambre intérieure et au moins un trou adjacent à la cavité s'étend à travers cette base. Dans la chambre un capteur en verre est monté qui comprend un premier diaphragme (12) sur lequel est fixée une première électrode, ainsi qu'un second diaphragme (14) sur lequel est fixée une seconde électrode, ces diaphragmes étant collés ensemble pour que leurs électrodes forment un condensateur, l'un des diaphragmes étant logé dans la cavité, l'autre reposant sur la surface de la base et recouvrant le trou. Un élément (52) conducteur s'étend à partir de ce capteur, passe à travers le trou et est relié à des circuits (33) électroniques montés sur la capsule. La cavité présente également un élément de support du diaphragme disposé dans cette cavité.