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1. (WO2001005701) VIBRATEUR MECANIQUE DE L'ORDRE DU NANOMETRE, PROCEDE DE FABRICATION ASSOCIE, ET DISPOSITIF DE MESURE UTILISANT LEDIT VIBRATEUR
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2001/005701    N° de la demande internationale :    PCT/JP2000/004622
Date de publication : 25.01.2001 Date de dépôt international : 11.07.2000
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    05.02.2001    
CIB :
G01P 3/12 (2006.01), B81B 1/00 (2006.01), B81B 3/00 (2006.01), B82B 1/00 (2006.01), B82B 3/00 (2006.01), G01B 21/30 (2006.01), G01L 1/04 (2006.01), G01P 15/00 (2006.01), G01P 15/02 (2006.01), G01P 15/08 (2006.01), G01Q 10/04 (2010.01), G01Q 20/02 (2010.01), G01Q 60/22 (2010.01), G01Q 60/38 (2010.01), G01Q 60/42 (2010.01), G01Q 70/06 (2010.01), G01Q 70/12 (2010.01), G11B 9/14 (2006.01), H01L 29/84 (2006.01), H01L 41/08 (2006.01), H01L 41/09 (2006.01), H03H 9/02 (2006.01), G11B 9/00 (2006.01)
Déposants : JAPAN SCIENCE AND TECHNOLOGY CORPORATION [JP/JP]; 1-8, Hon-cho 4-chome, Kawaguchi-shi, Saitama 332-0012 (JP) (Tous Sauf US).
KAWAKATSU, Hideki [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
TOSHIYOSHI, Hiroshi [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : KAWAKATSU, Hideki; (JP).
TOSHIYOSHI, Hiroshi; (JP)
Mandataire : SHIMIZU, Mamoru; Ohzono Building, 7-10, Kanda-mitoshiro-cho, Chiyoda-ku, Tokyo 101-0053 (JP)
Données relatives à la priorité :
11/202682 16.07.1999 JP
2000/156645 26.05.2000 JP
Titre (EN) NANOMETER-ORDER MECHANICAL VIBRATOR, PRODUCTION METHOD THEREOF AND MEASURING DEVICE USING IT
(FR) VIBRATEUR MECANIQUE DE L'ORDRE DU NANOMETRE, PROCEDE DE FABRICATION ASSOCIE, ET DISPOSITIF DE MESURE UTILISANT LEDIT VIBRATEUR
Abrégé : front page image
(EN)A stable and high-sensitivity nanometer-order mechanical vibrator having a detection resolution for nanometer-order jumpy force and mass change, a production method therefor, and a measuring device using it. The nanometer-order mechanical vibrator (10) comprises a base (11), a tetrahedron-shape vibrator mass (13), a neck portion (12) connecting the base (11) and the vibrator mass (13) together and having an elastic element. The vibrator (10) is of a nanometer-order mushroom shape. The vibrator mass (13) in a tetrahedron shape is suitable for a probe of a scanning type microscope for observing the surface conditions of an arbitrary sample by bringing the mass (13) as a probe close to the sample surface.
(FR)L'invention concerne : un vibrateur mécanique de l'ordre du nanomètre, stable et à haute sensibilité, qui présente une résolution de détection correspondant à une force de saut et une modification de masse de l'ordre du nanomètre; un procédé de production associé; et un dispositif de mesure utilisant ledit vibrateur. Le vibrateur mécanique de l'ordre du nanomètre (10) comprend: une base (11); une masse (13) de vibrateur de forme triangulaire; et une partie col (12) reliant la base (11) à la masse (13) du vibrateur et possédant un élément élastique. Le vibrateur (10) a la forme d'un champignon de l'ordre du nanomètre. La masse (13) du vibrateur de forme triangulaire convient à une sonde d'un microscope à balayage permettant d'observer les conditions de surface d'un échantillon arbitraire, en mettant la masse (13), en tant que sonde, près de la surface de l'échantillon.
États désignés : KR, US.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)