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1. (WO2001004682) SYSTEME IMAGEUR CATADIOPTRIQUE A ULTRAVIOLETS A BANDE LARGE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2001/004682    N° de la demande internationale :    PCT/US2000/017121
Date de publication : 18.01.2001 Date de dépôt international : 22.06.2000
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    01.02.2001    
CIB :
G02B 17/08 (2006.01), G02B 21/04 (2006.01), G03F 7/20 (2006.01)
Déposants : KLA-TENCOR CORPORATION [US/US]; 160 Rio Robles, San Jose, CA 95134 (US)
Inventeurs : SHAFFER, David, R.; (US).
CHUANG, Yung-Ho; (US).
ARMSTRONG, J., Joseph; (US)
Mandataire : SMYRSKI, Steven, W.; Pillsbury Madison & Sutro LLP, 725 South Figueroa Street, Los Angeles, CA 90017-5443 (US).
WISE, Roger, R.; Pillsbury Madison & Sutro LLP, 725 South Figueroa Street, Los Angeles, CA 90014-5443 (US)
Données relatives à la priorité :
09/349,036 07.07.1999 US
Titre (EN) BROAD BAND ULTRAVIOLET CATADIOPTRIC IMAGING SYSTEM
(FR) SYSTEME IMAGEUR CATADIOPTRIQUE A ULTRAVIOLETS A BANDE LARGE
Abrégé : front page image
(EN)A design for inspecting specimens, such as photomasks, for unwanted particles and features such as pattern defects is provided. The system provides no central obscuration, an external pupil for aperturing and Fourier filtering, and relatively relaxed manufacturing tolerances, and is suited for both broad-band bright-field and laser dark field imaging and inspection at wavelengths below 365 nm. In many instances, the lenses used may be fashioned or fabricated using a single material. Multiple embodiments of the objective lensing arrangement are disclosed, all including at least one small fold mirror and a Mangin mirror. The system is implemented off axis such that the returning second image is displaced laterally from the first image so that the lateral separation permits optical receipt and manipulation of each image separately. The objective designs presented have the optical axis of the Mangin mirror image relay at ninety degrees to the optical axis defined by the focusing lenses, or an in-line or straight objective having one ninety degree bend of light rays.
(FR)Cette invention concerne un système d'inspection de spécimens, des masques photographiques par exemple, qui permet de repérer notamment des particules indésirables ou des défauts de motif. Ce système présente les caractéristiques suivantes : absence d'obscurcissement central, pupille externe pour la détermination de l'ouverture et filtrage de Fourier, et tolérances de fabrication assez lâches. Il convient pour l'imagerie et l'inspection à la fois sur fond clair à large bande et par laser sur fond sombre à des longueurs d'onde inférieures à 365 nm. Dans de nombreux cas, les lentilles peuvent être façonnées ou fabriquées à partir d'un seul matériau. L'invention porte sur de multiples agencements des objectifs, tous comprenant au moins un petit miroir de renvoi et un miroir de Mangin. Le système fonctionne hors-axe de sorte que la seconde image en retour est décalée latéralement par rapport à la première image et que la séparation latérale permet la réception et la manipulation optique de chaque image séparément. Dans les systèmes d'objectif présentés, l'axe optique du relais d'image fait un angle de 90° par rapport à l'axe optique défini par les lentilles de focalisation, ou bien on trouve un objectif linéaire ou droit créant une déviation de 90° des rayons lumineux.
États désignés : JP, KR.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)