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1. (WO2001004580) CIRCUIT D'INTERFACE DE DETECTEUR DE DEBIT MASSE AMELIORE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2001/004580    N° de la demande internationale :    PCT/US2000/040252
Date de publication : 18.01.2001 Date de dépôt international : 20.06.2000
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    31.01.2001    
CIB :
G01F 1/696 (2006.01)
Déposants : MILLIPORE CORPORATION [US/US]; 80 Ashby Road, Bedford, MA 01730-2271 (US)
Inventeurs : LARSEN, Dwight, S.; (US).
PATTANTYUS, Tamas, I.; (US)
Mandataire : VERDUN, Hayward, A.; Gray Cary Ware & Friedenrich LLP, 1221 S. MoPac Expressway, Suite 400, Austin, TX 78746-6875 (US)
Données relatives à la priorité :
09/350,746 09.07.1999 US
Titre (EN) IMPROVED MASS FLOW SENSOR INTERFACE CIRCUIT
(FR) CIRCUIT D'INTERFACE DE DETECTEUR DE DEBIT MASSE AMELIORE
Abrégé : front page image
(EN)An improved mass flow sensor interface ('MFSI') circuit and method are disclosed for sensing and measuring mass flow rate of a gas and provide an output voltage proportional to the mass flow rate in a mass flow controller. The improved MFSI circuit of the present invention includes upstream and downstream mass flow sense elements a precision current source to drive the circuit. The circuit further includes an operational amplifier to sum the voltage upstream of the upstream sense element with the voltage downstream of the downstream sense element. A reference voltage is electrically connected to the positive node of the operational amplifier. An upstream shunting resistor and a downstream shunting resistor share a common junction at the negative node of the operational amplifier and are electrically connected in parallel to the upstream and downstream mass flow sense elements.
(FR)L'invention concerne un circuit d'interface de détecteur de débit masse (« MFSI ») amélioré et un procédé afférent de détection et de mesure du débit masse d'un gaz, afin de produire une tension de sortie proportionnelle au débit masse dans un organe de commande de débit masse. Le circuit MFSI amélioré selon la présente invention comprend des éléments de détection de débit masse en amont et en aval et une source de courant de précision pour entraîner le circuit. Le circuit comprend également un amplificateur opérationnel destiné à additionner la tension en amont de l'élément de détection en amont et la tension en aval de l'élément de détection en aval. Une tension de référence est électriquement connectée au noeud positif de l'amplificateur opérationnel. Une résistance en parallèle en amont et une résistance en parallèle en aval partagent une jonction commune dans le noeud négatif de l'amplificateur opérationnel et sont électriquement connectés en parallèle aux éléments de détection de débit masse en amont et en aval. Le circuit MFSI selon l'invention comprend aussi une résistance de référence connectée à la source de tension de référence et au noeud positif de l'amplificateur opérationnel, ainsi qu'une résistance de retour connectée au noeud positif et à la sortie de l'amplificateur opérationnel. L'amplificateur opérationnel du circuit MFSI émet un signal de sortie proportionnel au changement de résistance de part et d'autre des éléments de détection en amont et en aval et donc proportionnel au débit masse de gaz.
États désignés : AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NO, NZ, PL, PT, RO, RU, SD, SE, SG, SI, SK, SL, TJ, TM, TR, TT, TZ, UA, UG, UZ, VN, YU, ZA, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)