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1. (WO2001003178) PROCEDE POUR PRODUIRE UN ENSEMBLE ELECTRODE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2001/003178    N° de la demande internationale :    PCT/DE2000/002094
Date de publication : 11.01.2001 Date de dépôt international : 26.06.2000
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    08.01.2001    
CIB :
H01L 21/768 (2006.01)
Déposants : FRAUNHOFER GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. [DE/DE]; Leonrodstrasse 54, D-80636 München (DE) (Tous Sauf US).
BEUTEL, Hans-Jörg [DE/DE]; (DE) (US Seulement).
KATZENBERG, Frank [DE/DE]; (DE) (US Seulement).
SCHULZ, Hubert [DE/DE]; (DE) (US Seulement).
HOFFMANN, Thomas [DE/DE]; (DE) (US Seulement)
Inventeurs : BEUTEL, Hans-Jörg; (DE).
KATZENBERG, Frank; (DE).
SCHULZ, Hubert; (DE).
HOFFMANN, Thomas; (DE)
Mandataire : GAGEL, Roland; Landsberger Strasse 480a, D-81241 München (DE)
Données relatives à la priorité :
199 30 104.2 01.07.1999 DE
Titre (DE) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER ELEKTRODENANORDNUNG
(EN) METHOD FOR PRODUCING AN ELECTRODE ARRANGEMENT
(FR) PROCEDE POUR PRODUIRE UN ENSEMBLE ELECTRODE
Abrégé : front page image
(DE)Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung einer Elektrodenanordnung in einem Substrat (1), bei der einzelne Elektrodenbereiche (2a, 2b, 6a, 6b) einen lateralen Abstand und/oder vertikalen Versatz zueinander aufweisen. Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren wird zumindest eine elektrisch leitfähige Schicht (2, 6) zur Bildung der Elektrodenbereiche auf eine Oberfläche eines Substrates (1) aufgebracht. In einem weiteren Schritt wird ein Prägeelement (3, 7) auf die Oberfläche aufgedrückt, so daß ein lateraler Abstand und/oder vertikaler Versatz zwischen einzelnen Elektrodenbereichen (2a, 2b, 6a, 6b) entsteht. Durch nachfolgendes Entfernen des Prägeelementes ist auf diese Weise eine Elektrodenstruktur entstanden, bei der einzelne Elektrodenbereiche durch einen lateralen Abstand und/oder vertikalen Versatz voneinander beabstandet sind. Das erfindungsgemäße Verfahren ermöglicht in überraschend einfacher Weise und sehr kostengünstig die Herstellung von Elektrodenstrukturen im Mikro- und Nanometerbereich.
(EN)The invention relates to a method for producing an electrode arrangement in a substrate (1), whereby individual electrode areas (2a, 2b, 6a, 6b) are arranged at a lateral distance and/or are vertically offset in relation to each other. According to the inventive method, at least one electrically conductive coating (2, 6) is applied to a surface of a substrate (1) in order to form said electrode areas. In another step, a stamping element (3, 7) is applied to the surface in such a way that a lateral distance and/or vertical offsetting occurs between individual electrode areas (2a, 2b, 6a, 6b). The stamping element is subsequently withdrawn, leaving an electrode structure in which individual electrode areas are separated from each other by a lateral distance and/or vertical offsetting. The inventive method makes it possible to produce electrode structures in the micro and namometric range in a surpisingly simple cost-effective manner.
(FR)L'invention concerne un procédé pour produire, dans un substrat (1), un ensemble électrode dans lequel des zones d'électrodes individuelles (2a, 2b, 6a, 6b) sont placées avec un écart latéral et/ou un décalage vertical les unes par rapport aux autres. Selon le procédé de l'invention, au moins une couche électroconductrice (2, 6) servant à former les zones d'électrodes est placée sur une surface d'un substrat (1). Lors d'une autre étape, un élément d'estampage (3, 7) est appliqué sur la surface de façon à former un écart latéral et/ou un décalage vertical entre les zones d'électrodes individuelles (2a, 2b, 6a, 6b). Le retrait de l'élément d'estampage laisse apparaître une structure d'électrode dans laquelle les zones d'électrodes individuelles sont séparées par un écart latéral et/ou un décalage vertical. Ce procédé permet de produire, de manière étonnamment simple et de façon très économique, des structures d'électrodes de l'ordre du micron et du nanomètre.
États désignés : US.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)