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1. (WO2001003162) APPAREIL BASSE PRESSION ET SOUPAPE DE REGULATION DE PRESSION
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2001/003162    N° de la demande internationale :    PCT/EP2000/006040
Date de publication : 11.01.2001 Date de dépôt international : 28.06.2000
CIB :
F16K 3/34 (2006.01), F16K 51/02 (2006.01), H01L 21/00 (2006.01)
Déposants : KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V. [NL/NL]; Groenewoudseweg 1, NL-5621 BA Eindhoven (NL)
Inventeurs : VAN DE KERKHOF, Antonius, M., C., P., L.; (NL)
Mandataire : DUIJVESTIJN, Adrianus, J.; Internationaal Octrooibureau B.V., Prof. Holstlaan 6, NL-5656 AA Eindhoven (NL)
Données relatives à la priorité :
99202115.4 30.06.1999 EP
Titre (EN) LOW-PRESSURE APPARATUS AND PRESSURE CONTROL VALVE
(FR) APPAREIL BASSE PRESSION ET SOUPAPE DE REGULATION DE PRESSION
Abrégé : front page image
(EN)A pressure control valve (9) for adjusting a valve opening in a wafer processing system, which pressure control valve (9) is provided on the exhaust pipe (6), the pressure control valve (9) comprising a flow channel (10), a first flow-through element (12), which first flow-through element (11) and second flow-through element (12) are arranged behind each other in the flow channel (10) in the direction (13) of the gas flow and border respectively a first flow-through opening and a second flow-through opening, at least one of the first flow-through element (11) and the second flow-through element (12) being movable substantially transversely to the direction (13) of the gas flow in order to establish a desired overlap between the first flow-through opening and the second flow-through opening and create a common opening referred to as the valve opening, the first flow-through opening at least being provided with a first opening portion bordered by two first edges, which mutually taper into a pointed end, whereby the movable flow-through element at least is ajdustable in a position in which the valve opening exclusively comprises only the pointed end of the first opening portion.
(FR)L'invention concerne une soupape (9) de régulation de pression destinée à régler une ouverture de soupape dans un système de traitement de plaquettes, la soupape (9) de régulation de pression étant située sur le tuyau (6) d'échappement. La soupape (9) de régulation de pression comprend un canal (10) d'écoulement et un premier (11) élément de circulation continue, ce premier (11) élément de circulation continue et un deuxième (12) élément de circulation continue étant disposés l'un derrière l'autre dans le canal (10) d'écoulement dans la direction du flux de gaz et limitant respectivement une première ouverture de circulation continue et une deuxième ouverture de circulation continue. Au moins l'un ou l'autre du premier (11) élément de circulation continue et du deuxième (12) élément de circulation continue est amovible sensiblement transversalement par rapport au sens (13) d'écoulement du gaz, ce qui permet d'établir un chevauchement voulu entre la première ouverture de circulation continue et la deuxième ouverture de circulation continue et de créer une ouverture commune dénommée ouverture de soupape. La première ouverture de circulation continue comporte au moins un premier segment d'ouverture limité par deux premiers bords décroissant mutuellement en une extrémité pointue, l'élément de circulation continue amovible étant au moins réglable dans une position dans laquelle l'ouverture de soupape comprend exclusivement l'extrémité pointue du premier segment d'ouverture.
États désignés : JP, KR.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)