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1. WO2001003158 - PROCEDE ET DISPOSITIF DE DEPOT PAR PLASMA A LA RESONANCE CYCLOTRON ELECTRONIQUE DE COUCHES DE TISSUS DE NANOFIBRES DE CARBONE ET COUCHES DE TISSUS AINSI OBTENUS

Numéro de publication WO/2001/003158
Date de publication 11.01.2001
N° de la demande internationale PCT/FR2000/001827
Date du dépôt international 29.06.2000
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 22.01.2001
CIB
H01J 37/32 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
JTUBES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE OU LAMPES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE
37Tubes à décharge pourvus de moyens permettant l'introduction d'objets ou d'un matériau à exposer à la décharge, p.ex. pour y subir un examen ou un traitement
32Tubes à décharge en atmosphère gazeuse
H05H 1/24 2006.01
HÉLECTRICITÉ
05TECHNIQUES ÉLECTRIQUES NON PRÉVUES AILLEURS
HTECHNIQUE DU PLASMA; PRODUCTION DE PARTICULES ÉLECTRIQUEMENT CHARGÉES ACCÉLÉRÉES OU DE NEUTRONS; PRODUCTION OU ACCÉLÉRATION DE FAISCEAUX MOLÉCULAIRES OU ATOMIQUES NEUTRES
1Production du plasma; Mise en œuvre du plasma
24Production du plasma
CPC
B82Y 10/00
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
82NANOTECHNOLOGY
YSPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
10Nanotechnology for information processing, storage or transmission, e.g. quantum computing or single electron logic
B82Y 30/00
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
82NANOTECHNOLOGY
YSPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
30Nanotechnology for materials or surface science, e.g. nanocomposites
H01J 37/32192
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
32Gas-filled discharge tubes, ; e.g. for surface treatment of objects such as coating, plating, etching, sterilising or bringing about chemical reactions
32009Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
32192Microwave generated discharge
H01J 37/32678
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
32Gas-filled discharge tubes, ; e.g. for surface treatment of objects such as coating, plating, etching, sterilising or bringing about chemical reactions
32431Constructional details of the reactor
3266Magnetic control means
32678Electron cyclotron resonance
Y10S 977/843
YSECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
STECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
977Nanotechnology
84Manufacture, treatment, or detection of nanostructure
842for carbon nanotubes or fullerenes
843Gas phase catalytic growth, i.e. chemical vapor deposition
Y10S 977/844
YSECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
STECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
977Nanotechnology
84Manufacture, treatment, or detection of nanostructure
842for carbon nanotubes or fullerenes
844Growth by vaporization or dissociation of carbon source using a high-energy heat source, e.g. electric arc, laser, plasma, e-beam
Déposants
  • COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE [FR]/[FR] (AllExceptUS)
  • DELAUNAY, Marc [FR]/[FR] (UsOnly)
  • SEMERIA, Marie-Noëlle [FR]/[FR] (UsOnly)
Inventeurs
  • DELAUNAY, Marc
  • SEMERIA, Marie-Noëlle
Mandataires
  • AUDIER, Philippe
Données relatives à la priorité
99/0847301.07.1999FR
Langue de publication français (FR)
Langue de dépôt français (FR)
États désignés
Titre
(EN) METHOD AND DEVICE FOR ELECTRONIC CYCLOTRONIC RESONANCE PLASMA DEPOSIT OF CARBON NANOFIBRE LAYERS IN FABRIC FORM AND RESULTING FABRIC LAYERS
(FR) PROCEDE ET DISPOSITIF DE DEPOT PAR PLASMA A LA RESONANCE CYCLOTRON ELECTRONIQUE DE COUCHES DE TISSUS DE NANOFIBRES DE CARBONE ET COUCHES DE TISSUS AINSI OBTENUS
Abrégé
(EN)
The invention concerns a method and a device for electronic cyclotronic resonance plasma deposit of carbon nanofibres or nanotubes in fabric form, on a catalyst-free substrate, by microwave power injection into a deposit chamber comprising a magnetic structure with a highly unbalanced magnetic mirror, and at least an electronic cyclotronic resonance inside said deposit chamber itself and opposite said substrate, whereby, under pressure less than 10-4 mbar, the carbon-containing gas in said magnetic mirror at the centre of the deposit chamber is ionised and/or dissociated, thereby producing species which will be deposited on said substrate which is heated. The invention further concerns a layer, optionally on a substrate, formed of a fabric or array of carbon nanofibres or nanotubes interconnected as in a web, said layer being catalyst-free and having multiple layers-or a multilayer structure - comprising at least two layers of carbon nanofibres or nanotubes in fabric form, and filters, nanogrids accelerating or decelerating electrons and flat displays comprising such layers or structures.
(FR)
Procédé et dispositif de dépôt par plasma à la résonance cyclotron électronique d'un tissu de nanofibres ou nanotubes de carbone, sur un substrat exempt de catalyseur, par injection d'une puissance micro-ondes dans une chambre de dépôt comprenant une structure magnétique à miroir magnétique fortement déséquilibré, et au moins une zone de résonance cyclotron électronique à l'intérieur même de ladite chambre de dépôt et faisant face audit substrat, moyennant quoi on provoque, sous une pression inférieure à 10-4 mbar, l'ionisation et/ou la dissociation d'un gaz contenant du carbone dans ledit miroir magnétique au centre de la chambre de dépôt, en produisant ainsi des espèces qui vont se déposer sur ledit substrat qui est chauffé. L'invention concerne, en outre, une couche, éventuellement sur un substrat, formée d'un tissu ou réseau de nanofibres ou nanotubes de carbone interconnectés comme dans une toile d'araignée, ladite couche étant exempte de catalyseur et une structure à plusieurs couches - ou structure multicouche - comprenant au moins deux couches de tissu de nanofibres ou nanotubes de carbone, ainsi que des filtres, nanogrilles accélératrices ou décélératrices d'électrons et les écrans plats comprenant de telles couches ou structures.
Également publié en tant que
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