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1. (WO2001003145) APPAREIL ET TECHNIQUE PERMETTANT D'EXAMINER UN ECHANTILLON AVEC UN FAISCEAU DE PARTICULES CHARGEES
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2001/003145    N° de la demande internationale :    PCT/US2000/018442
Date de publication : 11.01.2001 Date de dépôt international : 03.07.2000
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    30.01.2001    
CIB :
H01J 37/28 (2006.01)
Déposants : APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue, Santa Clara, CA 95054 (US) (Tous Sauf US).
FEUERBAUM, Hans-Peter [DE/DE]; (DE) (US Seulement).
WINKLER, Dieter [DE/DE]; (DE) (US Seulement)
Inventeurs : FEUERBAUM, Hans-Peter; (DE).
WINKLER, Dieter; (DE)
Mandataire : BERNSTEIN, Frank, L.; Sughrue, Mion, Zinn, Macpeak & Seas, PLLC, Suite 360, 1010 El Camino Real, Menlo Park, CA 94025 (US)
Données relatives à la priorité :
99112835.6 02.07.1999 EP
Titre (EN) APPARATUS AND METHOD FOR EXAMINING SPECIMEN WITH A CHARGED PARTICLE BEAM
(FR) APPAREIL ET TECHNIQUE PERMETTANT D'EXAMINER UN ECHANTILLON AVEC UN FAISCEAU DE PARTICULES CHARGEES
Abrégé : front page image
(EN)An apparatus for examining a specimen with a beam of charged particles. The apparatus comprises a particle source for providing a beam of charged particles and an optical column for directing said beam of charged particles onto said specimen (3) positioned on a specimen holder (27). Both are located in a vacuum chamber (26) connected to a vacuum pump (28) for providing a desired vacuum level. The vacuum pump (29) is provided for evacuating the optical column. The aperture (23) separates the optical column from the specimen chamber (26). An inert gas reservoir (25) is guided through a valve (2) to gas conduit (14) which directs the stream of inert gas onto specimen (3).
(FR)La présente invention concerne un appareil permettant d'examiner un échantillon avec un faisceau de particules chargées. Cet appareil comprend une source de particules fournissant un faisceau de particules chargées et une colonne optique permettant de diriger ledit faisceau de particules chargées sur l'échantillon (3) placé sur un porteur d'échantillon (27). Tous les deux sont situés dans une chambre à vide (26) reliée à une pompe à vide (28) de façon à obtenir un niveau de vide souhaité. Cette pompe à vide (29) est destinée à évacuer la colonne optique. L'ouverture (23) sépare la colonne optique de la chambre à échantillon (26). Un réservoir de gaz inerte (25) est raccordé à travers une vanne (2) à une conduite de gaz (14) qui dirige le flux de gaz inerte sur l'échantillon.
États désignés : JP, KR, US.
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)