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1. (WO2001001438) DISPOSITIF GENERATEUR DE FAISCEAUX IONIQUES
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2001/001438    N° de la demande internationale :    PCT/GB1999/001977
Date de publication : 04.01.2001 Date de dépôt international : 23.06.1999
CIB :
H01J 27/02 (2006.01)
Déposants : APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, CA 95054 (US) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, JP, LU, MC, NL, PT, SE only).
MURRELL, Adrian, John [GB/GB]; (GB) (US Seulement).
COLLART, Erik, Jan, Hilda [BE/GB]; (GB) (US Seulement).
HARRISON, Bernard, Francis [GB/GB]; (GB) (US Seulement).
AL-BAYATI, Amir [IQ/US]; (US) (US Seulement).
BURGESS, Chris, James, Sydney [GB/GB]; (GB) (US Seulement).
ARMOUR, David [GB/GB]; (GB) (US Seulement).
HOLMES, Andrew [GB/GB]; (GB) (US Seulement).
POVALL, Simon [GB/GB]; (GB) (US Seulement).
ARNOLD, Drew [US/US]; (US) (US Seulement).
BURFIELD, Paul, Anthony [GB/GB]; (GB) (US Seulement)
Inventeurs : MURRELL, Adrian, John; (GB).
COLLART, Erik, Jan, Hilda; (GB).
HARRISON, Bernard, Francis; (GB).
AL-BAYATI, Amir; (US).
BURGESS, Chris, James, Sydney; (GB).
ARMOUR, David; (GB).
HOLMES, Andrew; (GB).
POVALL, Simon; (GB).
ARNOLD, Drew; (US).
BURFIELD, Paul, Anthony; (GB)
Mandataire : BOULT WADE TENNANT; Verulam Gardens 70 Gray's Inn Road London WC1X 8BT (GB)
Données relatives à la priorité :
Titre (EN) ION BEAM GENERATION APPARATUS
(FR) DISPOSITIF GENERATEUR DE FAISCEAUX IONIQUES
Abrégé : front page image
(EN)An ion beam generation apparatus comprising an ion source (20) for generating ions, and a tetrode extraction assembly (11) comprising four electrodes for extracting and accelerating ions from the ion source. The extraction assembly comprises a source electrode (22) at the potential of the ion source, an extraction electrode (23) adjacent to the source electrode to extract ions from the ion source (20), a ground electrode (25), and a suppression electrode (24) between the extraction electrode and the ground electrode. Each electrode has an aperture to allow the ion beam to pass therethrough. The gap between the extraction (23) and suppression (24) electrodes is variable in the direction of ion beam travel.
(FR)L'invention concerne un dispositif générateur de faisceaux ioniques comprenant une source d'ions (20) et des moyens (11) d'extraction à tétrode comprenant quatre électrodes destinées à extraire et à accélérer les ions en provenance de ladite source. Les moyens d'extraction comprennent une électrode source (22) au potentiel de la source d'ions, une électrode d'extraction (23) adjacente à l'électrode source et destinée à extraire les ions de ladite source (20), une électrode de masse (25) et une électrode de suppression (24) située entre l'électrode d'extraction et l'électrode de masse. Chaque électrode est dotée d'une ouverture permettant au faisceau ionique de la traverser. La séparation entre l'électrode d'extraction (23) et l'électrode de suppression est variable dans la direction de déplacement du faisceau ionique.
États désignés : JP, US.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)