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1. (WO2001001182) LENTILLE OPTIQUE POUR MICROLITHOGRAPHIE VUV A CRISTAUX DE FLUORURE QUI MINIMISE L'EFFET BIREFRINGENT, ET PARAISONS OPTIQUES DE CELLE-CI
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2001/001182    N° de la demande internationale :    PCT/US2000/017165
Date de publication : 04.01.2001 Date de dépôt international : 22.06.2000
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    04.12.2000    
CIB :
G02B 1/02 (2006.01), G02B 13/14 (2006.01), G03F 7/20 (2006.01)
Déposants : CORNING INCORPORATED [US/US]; 1 Riverfront Plaza, Corning, NY 14831 (US) (Tous Sauf US).
MEDA, Gautam [IN/US]; (US) (US Seulement).
PRICE, Michael [US/US]; (US) (US Seulement).
RIVERA, Michael [US/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : MEDA, Gautam; (US).
PRICE, Michael; (US).
RIVERA, Michael; (US)
Mandataire : MURPHY, Edward, F.; Corning Incorporated, Patent Dept. SP TI 3-1, Corning, NY 14831 (US)
Données relatives à la priorité :
60/141,155 25.06.1999 US
Titre (EN) BIREFRINGENCE MINIMIZING FLUORIDE CRYSTAL OPTICAL VUV MICROLITHOGRAPHY LENS ELEMENTS AND OPTICAL BLANKS THEREFOR
(FR) LENTILLE OPTIQUE POUR MICROLITHOGRAPHIE VUV A CRISTAUX DE FLUORURE QUI MINIMISE L'EFFET BIREFRINGENT, ET PARAISONS OPTIQUES DE CELLE-CI
Abrégé : front page image
(EN)A birefringence minimizing fluoride crystal VUV optical lithography lens element (50) is provided for use with lithography wavelengths less than 230 nm. The VUV lithography lens element has an optical axis encompassed by a lens perimeter with the fluoride crystal lens having a variation (58) in crystallographic orientation direction which tilts away from the optical center axis (54) towards the lens perimeter to provide minimal birefringence.
(FR)La présente invention concerne une lentille (50) optique pour lithographie VUV à cristaux de fluorure qui minimise l'effet biréfringent, convenant pour des longueurs d'ondes inférieures à 230 nm. Cette lentille pour lithographie VUV possède un axe optique entouré par un périmètre de lentille, et la lentille à cristaux de fluorure présente une variation (58) d'orientation cristallographique, celle-ci étant inclinée par rapport à l'axe optique central (54), en direction du périmètre de la lentille de façon à minimiser l'effet biréfringent.
États désignés : JP, KR, RU, US.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)