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1. (WO2001000335) NETTOYAGE PAR MÉGASONS À NOMBRE ÉLEVEÉ DE T/M
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2001/000335    N° de la demande internationale :    PCT/US2000/016364
Date de publication : 04.01.2001 Date de dépôt international : 13.06.2000
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    22.01.2001    
CIB :
B08B 1/04 (2006.01), B08B 3/12 (2006.01)
Déposants : LAM RESEARCH CORPORATION [US/US]; 4650 Cushing Parkway, Fremont, CA 94538 (US)
Inventeurs : FARBER, Jeff; (US).
RADMAN, Allan, M.; (US).
SVIRCHEVSKI, Julia; (US).
TREICHEL, Helmuth; (US)
Mandataire : PENILLA, Albert, S.; Martine Penilla & Kim, LLP, Suite 170, 710 Lakeway Drive, Sunnyvale, CA 94086 (US)
Données relatives à la priorité :
09/343,208 29.06.1999 US
Titre (EN) HIGH RPM MEGASONIC CLEANING
(FR) NETTOYAGE PAR MÉGASONS À NOMBRE ÉLEVEÉ DE T/M
Abrégé : front page image
(EN)A method that involves spraying a liquid agitated with a sonic wave at a megasonic frequency onto a substrate (204) from a nozzle (201) positioned over the substrate. Simultaneously, the substrate is spun above 300RPM while the nozzle is swept over the substrate. The substrate may be brushed in a brush station before agitating the liquid with the sonic wave. An apparatus having an arm (202) in fluid communication with a nozzle that has an angular position $g(u) greater than 0°. Also, there is a substrate spinner (212) positioned below the nozzle.
(FR)L'invention concerne un procédé consistant à vaporiser un liquide agité par une onde sonore à fréquence mégasonique sur un substrat (204) par l'intermédiaire d'une buse (201) placée au dessus du substrat. Simultanément on fait tourner le substrat à plus de 300 t/m tandis que la buse effectue un mouvement de balayage au dessus de celui-ci. Avant l'agitation du liquide par une onde sonore, le substrat peut être brossé dans une station de brossage. L'invention concerne en outre un dispositif comprenant un bras (202) établissant une communication fluidique avec une buse dont la position angulaire $g(u) est supérieure à 0°, ainsi qu'une tournette (212) placée au dessous de la buse.
États désignés : AE, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, CA, CH, CN, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, NO, NZ, PL, PT, RO, RU, SD, SE, SG, SI, SK, SL, TJ, TM, TR, TT, TZ, UA, UG, UZ, VN, YU, ZA, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)