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1. (WO2000057251) PROCEDE ET DISPOSITIF POUR DETECTER LA PRESENCE D'UNE PIECE DANS UN DISPOSITIF D'USINAGE AUTOMATIQUE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2000/057251    N° de la demande internationale :    PCT/DE2000/000943
Date de publication : 28.09.2000 Date de dépôt international : 24.03.2000
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    13.09.2000    
CIB :
B23Q 17/00 (2006.01), B23Q 17/22 (2006.01), B25J 9/16 (2006.01)
Déposants : INFINEON TECHNOLOGIES AG [DE/DE]; St.-Martin-Strasse 53, D-81541 München (DE) (Tous Sauf US).
BRADL, Stephan [DE/DE]; (DE) (US Seulement).
HEITZSCH, Olaf [DE/DE]; (DE) (US Seulement)
Inventeurs : BRADL, Stephan; (DE).
HEITZSCH, Olaf; (DE)
Mandataire : KINDERMANN, Peter; Postfach 1330, 85627 Grasbrunn (DE)
Données relatives à la priorité :
199 13 365.4 24.03.1999 DE
Titre (DE) VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR DETEKTION EINES WERKSTÜCKES IN EINER AUTOMATISCHEN BEARBEITUNGSVORRICHTUNG
(EN) DEVICE AND METHOD FOR DETECTING A WORKPIECE IN AN AUTOMATIC PROCESSING DEVICE
(FR) PROCEDE ET DISPOSITIF POUR DETECTER LA PRESENCE D'UNE PIECE DANS UN DISPOSITIF D'USINAGE AUTOMATIQUE
Abrégé : front page image
(DE)Die Erfindung stellt ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Erkennung der Anwesenheit eines Werkstücks in einer automatischen Bearbeitungsvorrichtung bereit. Vorbekannte Erkennungseinrichtungen können nicht unter allen Bedingungen eine klare Unterscheidung zwischen der An- und Abwesenheit eines Werkstücks treffen. Es wird daher eine Vorrichtung bereitgestellt, die aus einem Ultraschallsender, einem Ultraschallempfänger und einem Detektionsmittel (Steuerung) besteht. Die Detektion, ob ein Werkstück in einer Halterung der Bearbeitungsvorrichtung gehaltert ist, erfolgt durch Beschallung der Halterung mit Ultraschallwellen, Empfang der reflektierten Ultraschallwellen und Detektion anhand der reflektierten Ultraschallwellen. Das Verfahren ist vorteilhaft besonders bei Poliermaschinen für Wafer einzusetzen, wo das Poliertuch sich im akustischen Reflexionsvermögen deutlich vom zu polierenden Wafer unterscheidet.
(EN)The invention relates to a method and a device for detecting the presence of a workpiece in an automatic processing device. Known detection devices are not able to distinguish clearly between the absence or presence of a workpiece under all operating conditions. The invention therefore provides a device which consists of an ultrasonic transmitter, an ultrasonic receiver and a detection means (control unit). Whether a workpiece is held in a support of the processing device is detected by exposure of the support to ultrasound, reception of the reflected ultrasound and detection on the basis of the reflected ultrasound. The method can be used especially advantageously in machines for polishing wafers in which the acoustic reflectivity of the polishing pad markedly differs from that of the wafer to be polished.
(FR)L'invention concerne un procédé et un dispositif permettant de détecter la présence d'une pièce dans un dispositif d'usinage automatique. Les dispositifs de détection connus ne peuvent pas différencier clairement la présence ou la non présence de pièces dans toutes les circonstances. A cet effet, il est prévu un dispositif comprenant un émetteur d'ultrasons, un récepteur d'ultrasons et un moyen de détection (commande). La détection visant à identifier si une pièce est maintenue dans un support du dispositif d'usinage intervient par irradiation ultrasonore du support avec des ondes ultrasonores, réception des ondes ultrasonores réfléchies et détection sur la base des ondes ultrasonores réfléchies. Ce procédé est particulièrement avantageux, notamment pour des polisseuses pour tranches de silicium, où le tampon à polir se différencie nettement de la tranche de silicium à polir, en termes de pouvoir de réflexion.
États désignés : IN, JP, KR, US.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)