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1. (WO2000057194) DISPOSITIFS MICROELECTROCHIMIQUES EQUILIBRES DYNAMIQUEMENT
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2000/057194    N° de la demande internationale :    PCT/US2000/007756
Date de publication : 28.09.2000 Date de dépôt international : 23.03.2000
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    13.10.2000    
CIB :
B23K 26/03 (2006.01), B23K 26/12 (2006.01), G01C 19/56 (2006.01), G01C 25/00 (2006.01)
Déposants : THE CHARLES STARK DRAPER LABORATORY, INC. [US/US]; 555 Technology Square, Cambridge, MA 02139 (US) (Tous Sauf US).
WEINBERG, Marc, S. [US/US]; (US) (US Seulement).
KUMAR, Kaplesh [US/US]; (US) (US Seulement).
KING, A., Thomas [US/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : WEINBERG, Marc, S.; (US).
KUMAR, Kaplesh; (US).
KING, A., Thomas; (US)
Mandataire : GAGNEBIN, Charles, L., III; Weingarten, Schurgin, Gagnebin & Hayes LLP, Ten Post Office Square, Boston, MA 02109 (US)
Données relatives à la priorité :
60/126,205 25.03.1999 US
Titre (EN) DYNAMICALLY BALANCED MICROELECTROMECHANICAL DEVICES
(FR) DISPOSITIFS MICROELECTROCHIMIQUES EQUILIBRES DYNAMIQUEMENT
Abrégé : front page image
(EN)Dynamic balancing reduces quadrature bias in microfabricated vibrating instruments such as tuning fork gyros so that a purity of motion is achieved in the absence of any angular rate input. Balancing is achieved by ablating (74) or depositing (72) onto support structures (62) for a tuning fork gyroscope rather than the proof mass (60) itself by melting and moving material on a tuning fork beam (62). Such adjusting is advantageously done during actual operation of the gyro by laser beam application through an encapsulating transparent cover which can be either part of the chip die or an external package.
(FR)L'équilibrage dynamique diminue la polarisation en quadrature dans des instruments à vibration microfabriqués, tels que des gyroscopes à diapason, de manière qu'on obtient une pureté de mouvement en l'absence de toute vitesse angulaire d'entrée. On réalise l'équilibrage en enlevant (74) ou en déposant (72) une matière obtenue par fusion ou déplacement sur un faisceau (62) de diapason sur des structures supports (62) pour un gyroscope à diapason plutôt que pour la masse étalon (60). On peut effectuer un tel réglage, de manière avantageuse, pendant le fonctionnement du gyroscope, en appliquant un faisceau laser à travers une couverture transparente d'encapsulation qui peut être soit une partie de puce ou un boîtier externe.
États désignés : CN, JP, NO, SG, US.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)