WIPO logo
Mobile | Deutsch | English | Español | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Recherche dans les collections de brevets nationales et internationales
World Intellectual Property Organization
Recherche
 
Options de navigation
 
Traduction
 
Options
 
Quoi de neuf
 
Connexion
 
Aide
 
Traduction automatique
1. (WO2000055686) SUPPORT DE TRANCHE PASSIF AYANT POUR BUT DE CORRIGER LA COURBURE DU CHAMP
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2000/055686    N° de la demande internationale :    PCT/US1997/008588
Date de publication : 21.09.2000 Date de dépôt international : 21.05.1997
CIB :
G03F 7/20 (2006.01), G03F 9/00 (2006.01), G21K 5/08 (2006.01)
Déposants : LYONS, Joseph [US/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : LYONS, Joseph; (US)
Mandataire : FATTIBENE, Paul, A.; 2480 Post Road, Southport, CT 06490 (US)
Données relatives à la priorité :
Titre (EN) PASSIVE SHAPED CHUCK FOR CORRECTING FIELD CURVATURE
(FR) SUPPORT DE TRANCHE PASSIF AYANT POUR BUT DE CORRIGER LA COURBURE DU CHAMP
Abrégé : front page image
(EN)A wafer chuck (20) used in a photolithographic apparatus having projection optics with a field curvature. A wafer chuck (20) having a curved surface (24) that matches the field curvature of the projection optics (14) holds a wafer (18) along a curved surface compensating for the field curvature. The wafer (18) being somewhat flexible is conformed to the curved surface of the wafer chuck (20) with a conventional vacuum or electrostatic holding techniques, and provides better imaging without having to compromise positioning as with a flat wafer. The present invention is particularly suitable to projection optics having a limited depth of focus in which a flat wafer is difficult to position or must be positioned with a portion of the wafer possibly not obtaining good imaging.
(FR)L'invention concerne un support de tranche (20) utilisé dans un appareil photolithographique pourvu de dispositifs optiques de projection avec une courbure de champ. Un support de tranche (20) pourvu d'une surface incurvée (24) qui correspond à la courbure de champ du dispositif optique de projection (14) supporte une tranche (18) le long d'une surface incurvée compensant la courbure de champ. La tranche (18) légèrement souple est adaptée à la surface incurvée du support de tranche (20) avec un vide traditionnel ou des techniques de support électrostatiques, et assure une meilleure représentation d'image sans compromettre le positionnement comme tel est le cas avec une tranche plate. La présente invention est particulièrement appropriée pour des dispositifs optiques de projection avec une profondeur de champ limitée dans laquelle une tranche plate est difficile à positionner ou doit être positionnée lorsqu'une partie de la tranche n'assure éventuellement pas de bonne représentation d'image.
États désignés : US.
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)